[实用新型]一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统

说明书

本实用新型公开了一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，包括空调净化箱、空气净化处理机组、臭氧发生器、加热器、U型框和挤压板，所述空调净化箱的内部安装有第一分隔板，所述空调净化箱的内部安装有第二分隔板，所述空调净化箱内部远离第一分隔板的一端安装有第三分隔板，且第三分隔板的内部开设有通孔，所述空调净化箱内部底端靠近第一分隔板的一端安装有第一底座，且第一底座的顶端安装有贯穿第一分隔板的空气净化处理机组。该氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，通过螺纹杆移动来带动挤压板对HEPA过滤网进行夹紧固定，从而便于操作人员对HEPA过滤网进行安装和拆卸。

技术领域

本实用新型涉及洁净室净化空调技术领域，具体为一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统。

背景技术

随着社会的发展，工业技术的进步，氮化镓是一种无机物，是氮和镓的化合物，是一种直接能隙的半导体常用在发光二极管中，此化合物结构类似纤锌矿，硬度很高，氮化镓的能隙很宽，可以用在高功率、高速的光电元件中，在对氮化镓半导体进行生产时，需要保证生产车间内部空气的洁净度，通常会在生产车间安装洁净室净化空调系统；

对比该CN211667911U一种节能洁净室空调净化系统，使用时，移动滑块，使得海绵滚轮擦洗空调出风窗底部水珠，解决了出风口因为较为寒冷，易凝结水雾，滴落在地面上易造成摔伤或污染，非常不便的问题，通过设置观察板，便于观察至收集槽内液位，通过设置滑轮，使得滑块与移动槽内底部摩擦减小，通过设置耐磨板，减小了滑块底部的磨损，通过设置把手，便于移动滑块，通过设置海绵垫，防止滑块撞击移动槽内侧壁，实用性很强，非常值得推广，但是依旧存在一定的问题，具体问题如下所述：

1、该氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，在长时间使用时，不便于操作人员对洁净室净化空调系统内部的过滤网进行拆卸和更换，增加了操作人员劳动强度；

2、该氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，在与外接管道进行连接时，费时费力，不便于操作人员进行操作，同时管道在连接时，密封性能较差。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，以解决上述背景技术中提出的不便于操作人员对洁净室净化空调系统内部的过滤网进行拆卸和更换与在与外接管道进行连接时，费时费力的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，包括空调净化箱、空气净化处理机组、臭氧发生器、加热器、U型框和挤压板，所述空调净化箱的内部安装有第一分隔板，所述空调净化箱的内部安装有第二分隔板，所述空调净化箱内部远离第一分隔板的一端安装有第三分隔板，且第三分隔板的内部开设有通孔，所述空调净化箱内部底端靠近第一分隔板的一端安装有第一底座，且第一底座的顶端安装有贯穿第一分隔板的空气净化处理机组，所述空调净化箱内部底端远离第一分隔板的一端皆开设有凹槽，且凹槽的内部设置有HEPA过滤网，所述空调净化箱内部顶端靠近有凹槽的一端安装有U型框，且U型框内部两端的侧壁皆安装有第二滑轨，所述第二滑轨的内部设置有第二滑块，且第二滑块相互靠近的一端安装有第二支撑板，所述第二支撑板底端的两端皆安装有安装板，所述第二支撑板底端的中间位置处安装有固定板，且固定板的内部安装有套杆，所述套杆的两端开设有螺纹孔，且螺纹孔的内部设置有螺纹杆，所述螺纹杆远离螺纹孔的一端安装有挤压板，所述空调净化箱的顶端皆安装有连接管道，且连接管道的外壁设置有外螺纹，所述连接管道的外壁的顶端套置有密封套筒。

优选的，所述空调净化箱内部的底端安装有第二底座，且第二底座位于第一分隔板和第二分隔板之间，所述第二底座的顶端安装有鼓风机，且鼓风机的输出端贯穿第二分隔板。

优选的，所述空调净化箱内部的底端皆安装有第一滑轨，且第一滑轨位于第二分隔板和第三分隔板之间，所述第一滑轨的内部设置有第一滑块，且第一滑块的顶端安装有第一支撑板，所述第一支撑板的顶端安装有臭氧发生器，所述第三分隔板靠近臭氧发生器的一端安装有加热器。