[实用新型]一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统

权利要求书

1.一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，包括空调净化箱(1)、空气净化处理机组(6)、臭氧发生器(12)、加热器(13)、U型框(17)和挤压板(27)，其特征在于：所述空调净化箱(1)的内部安装有第一分隔板(2)，所述空调净化箱(1)的内部安装有第二分隔板(3)，所述空调净化箱(1)内部远离第一分隔板(2)的一端安装有第三分隔板(4)，且第三分隔板(4)的内部开设有通孔(14)，所述空调净化箱(1)内部底端靠近第一分隔板(2)的一端安装有第一底座(5)，且第一底座(5)的顶端安装有贯穿第一分隔板(2)的空气净化处理机组(6)，所述空调净化箱(1)内部底端远离第一分隔板(2)的一端皆开设有凹槽(15)，且凹槽(15)的内部设置有HEPA过滤网(16)，所述空调净化箱(1)内部顶端靠近有凹槽(15)的一端安装有U型框(17)，且U型框(17)内部两端的侧壁皆安装有第二滑轨(18)，所述第二滑轨(18)的内部设置有第二滑块(19)，且第二滑块(19)相互靠近的一端安装有第二支撑板(20)，所述第二支撑板(20)底端的两端皆安装有安装板(22)，所述第二支撑板(20)底端的中间位置处安装有固定板(23)，且固定板(23)的内部安装有套杆(24)，所述套杆(24)的两端开设有螺纹孔(25)，且螺纹孔(25)的内部设置有螺纹杆(26)，所述螺纹杆(26)远离螺纹孔(25)的一端安装有挤压板(27)，所述空调净化箱(1)的顶端皆安装有连接管道(28)，且连接管道(28)的外壁设置有外螺纹(30)，所述连接管道(28)的外壁的顶端套置有密封套筒(29)。

2.根据权利要求1所述的一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，其特征在于：所述空调净化箱(1)内部的底端安装有第二底座(7)，且第二底座(7)位于第一分隔板(2)和第二分隔板(3)之间，所述第二底座(7)的顶端安装有鼓风机(8)，且鼓风机(8)的输出端贯穿第二分隔板(3)。

3.根据权利要求1所述的一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，其特征在于：所述空调净化箱(1)内部的底端皆安装有第一滑轨(9)，且第一滑轨(9)位于第二分隔板(3)和第三分隔板(4)之间，所述第一滑轨(9)的内部设置有第一滑块(10)，且第一滑块(10)的顶端安装有第一支撑板(11)，所述第一支撑板(11)的顶端安装有臭氧发生器(12)，所述第三分隔板(4)靠近臭氧发生器(12)的一端安装有加热器(13)。

4.根据权利要求1所述的一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，其特征在于：所述空调净化箱(1)一侧的侧壁皆铰接有密封门板(33)，且密封门板(33)一侧的侧壁安装有把手。

5.根据权利要求1所述的一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，其特征在于：所述第二支撑板(20)的顶端皆安装有弹簧(21)，且弹簧(21)的顶端与U型框(17)内部的顶端相连接。

6.根据权利要求1所述的一种氮化镓半导体生产用洁净室净化空调系统，其特征在于：所述连接管道(28)的外壁套置有外接管道(31)，且外接管道(31)的内壁设置有内螺纹(32)，所述内螺纹(32)与外螺纹(30)螺纹连接，所述外接管道(31)位于密封套筒(29)的内部。