[实用新型]一种晶圆切割环的清洗装置有效
| 申请号： | 202023151431.8 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN214348182U | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 蒋松杰 | 申请（专利权）人： | 苏州恩斯贝格精密机械有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B1/02 |
| 代理公司： | 温州知远专利代理事务所(特殊普通合伙) 33262 | 代理人： | 汤时达 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种晶圆切割环的清洗装置，包括清洗腔，上喷头，下喷头，清洗滚刷和转动组件，上喷头和下喷头分别设置在清洗腔的上方和下方，两个清洗滚刷相对设置，多个转动组件环绕清洗滚刷设置，转动组件包括驱动部，转动部和定位件，驱动部设有导向柱，转动部套设在导向柱上，转动部具有锥形凹槽，转动部由弹性材料制成，定位件包括限位板和安装柱，安装柱一端固定在限位板上，安装柱穿过转动部且插设在驱动部中，驱动部侧面设有定位孔，锁紧件穿过定位孔且抵压在安装柱的环形槽中。本实用新型的一种晶圆切割环的清洗装置能够实现上下同步清洗，有效提升了清洗效率；此外，能够通过滚刷和喷头同时清洗，提升了清洗效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 切割 清洗 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于苏州恩斯贝格精密机械有限公司，未经苏州恩斯贝格精密机械有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023151431.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种快速可调样品夹持结构
- 下一篇：一种智能充电桩设备
