[实用新型]一种半导体晶圆切片机用导向装置有效
| 申请号： | 202023150737.1 | 申请日： | 2020-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN214214334U | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 叶虎 | 申请（专利权）人： | 上海翱帅自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/04 | 分类号： | B28D7/04;B28D5/00 |
| 代理公司： | 上海秋冬专利代理事务所(普通合伙) 31414 | 代理人： | 张月 |
| 地址： | 201800 上海市嘉定区南翔*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种半导体晶圆切片机用导向装置，属于晶圆加工设备技术领域，包括底座，所述底座上方安装有转台，所述转台通过转动机构与底座相连，所述转台内开设有用于放置晶圆棒的晶圆槽，所述晶圆槽上方安装有固定机构，所述转台内开设有与固定机构相配合的第一限位滑槽。本实用新型通过设置旋转机构与固定机构配合，不仅实现了从任意方向进行导向，而且可以对不同规格的晶圆棒进行导向和固定，提高了实用性，保证了切片效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 切片机 导向 装置 | ||
【主权项】：
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