[实用新型]一种新型COF前制程清洗设备有效
申请号: | 202023134030.1 | 申请日: | 2020-12-23 |
公开(公告)号: | CN214184283U | 公开(公告)日: | 2021-09-14 |
发明(设计)人: | 李继忠;李述周 | 申请(专利权)人: | 江苏科沛达半导体科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00 |
代理公司: | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人: | 马晓武 |
地址: | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种新型COF前制程清洗设备,包括箱体、清洗腔、移动放置箱、清洗环、前置清洗箱和后置清洗箱,所述箱体内壁设有清洗腔,所述清洗环内壁前端固定连接有前置清洗箱,所述清洗环内壁后端固定连接有后置清洗箱,所述移动放置箱内壁右端设有移动电机,所述移动电机由移动放置箱内壁传动连接驱动齿轮轴,所述驱动齿轮轴由移动放置箱内壁啮合连接传动齿轮,所述传动齿轮底部啮合连接带动齿,所述清洗腔底部设有齿槽,所述带动齿底部传动连接齿槽,涉及清洗设备技术领域,该种新型COF前制程清洗设备,缓解了清洗时全面覆盖效果不足的问题,缓解了面对不同尺寸清洗件时清洗的效果差距大的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 cof 前制程 清洗 设备 | ||
【主权项】:
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