[实用新型]一种新型COF前制程清洗设备有效
| 申请号： | 202023134030.1 | 申请日： | 2020-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN214184283U | 公开（公告）日： | 2021-09-14 |
| 发明（设计）人： | 李继忠;李述周 | 申请（专利权）人： | 江苏科沛达半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00 |
| 代理公司： | 南京普睿益思知识产权代理事务所(普通合伙) 32475 | 代理人： | 马晓武 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 新型 cof 前制程 清洗 设备 | ||
1.一种新型COF前制程清洗设备，其特征在于：包括箱体(1)、清洗腔(5)、移动放置箱(6)、清洗环(13)、前置清洗箱(14)和后置清洗箱(15)，所述箱体(1)内壁设有清洗腔(5)，所述清洗环(13)内壁前端固定连接有前置清洗箱(14)，所述清洗环(13)内壁后端固定连接有后置清洗箱(15)，所述移动放置箱(6)内壁右端设有移动电机(7)，所述移动电机(7)由移动放置箱(6)内壁传动连接驱动齿轮轴(8)，所述驱动齿轮轴(8)由移动放置箱(6)内壁啮合连接传动齿轮(9)，所述传动齿轮(9)底部啮合连接带动齿(10)，所述清洗腔(5)底部设有齿槽(12)，所述带动齿(10)底部传动连接齿槽(12)。
2.根据权利要求1所述的一种新型COF前制程清洗设备，其特征在于：所述清洗腔(5)靠近中段处底段设有支撑轴(19)，所述支撑轴(19)顶端啮合连接清洗环(13)。
3.根据权利要求1所述的一种新型COF前制程清洗设备，其特征在于：所述箱体(1)顶部靠近中段处设有驱动电机(18)，所述驱动电机(18)传动连接驱动轴(17)，所述驱动轴(17)由箱体(1)内壁啮合连接清洗环(13)。
4.根据权利要求1所述的一种新型COF前制程清洗设备，其特征在于：所述前置清洗箱(14)右侧底端外壁固定连接有水源接口(16)，所述后置清洗箱(15)右侧底端外壁固定连接有水源接口(16)。
5.根据权利要求1所述的一种新型COF前制程清洗设备，其特征在于：所述箱体(1)的前端设有透明窗(2)，所述箱体(1)左侧外壁设有进舱门(3)，所述箱体(1)右侧外壁设有出舱门(4)。
6.根据权利要求1所述的一种新型COF前制程清洗设备，其特征在于：移动放置箱(6)右端底部外壁设有从动齿(11)，所述从动齿(11)由清洗腔(5)底部啮合连接齿槽(12)。
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