[实用新型]一种用于三维显微镜横向示值误差校准的标准器有效
申请号: | 202023126234.0 | 申请日: | 2020-12-22 |
公开(公告)号: | CN214333693U | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 方丹;王云祥;黄红平;王震 | 申请(专利权)人: | 苏州市计量测试院 |
主分类号: | G01B11/30 | 分类号: | G01B11/30;G01B9/02 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;贾允 |
地址: | 215128 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种用于三维显微镜横向示值误差校准的标准器,包括循迹结构和工作区域,所述循迹结构位于所述工作区域的外侧,所述工作区域包括多个子区域,所述子区域包括矩阵二维栅格结构,多个所述子区域中至少二个矩阵二维栅格的计量尺寸不同,所述循迹结构包括循迹标识,所述循迹标识位于所述工作区域外侧,所述循迹标识用于辅助引导操作者定位所述矩阵二维栅格结构位置。通过提供了不同计量尺寸的矩阵二维栅格结构,扩大了标准器可适用的仪器型号范围;解决了现有技术中在校准不同倍率镜头时需要多次更换标准器,测量效率低,影响测量结果准确性的问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 三维 显微镜 横向 误差 校准 标准 | ||
【主权项】:
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