[实用新型]一种类单晶籽晶酸洗装置有效
| 申请号： | 202023092590.5 | 申请日： | 2020-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN214718736U | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 陈志谋 | 申请（专利权）人： | 扬州申威光电器材有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/683 |
| 代理公司： | 金华市婺实专利代理事务所(普通合伙) 33340 | 代理人： | 胡恩晗 |
| 地址： | 225653 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种类单晶籽晶酸洗装置，包括带支架的清洗箱，所述清洗箱的内部设置有若干与其一体成型的托框，每个所述托框的顶部放置有带有若干渗透孔的托板，所述托板的顶部固定设有带有若干通孔的橡胶夹紧垫，所述橡胶夹紧垫上开设有若干梯形的卡紧槽，所述清洗箱的底部设有排废斗，清洗箱的一端设有与清洗箱相连通的供酸组件；本实用新型使用时将待酸洗的籽晶放置于橡胶夹紧垫上的卡紧槽内夹紧后放入清洗箱内的托框上，籽晶放置完成后，合上箱盖，启动供酸组件对清洗箱内进行供酸，酸液喷淋在籽晶上对籽晶进行清洗，酸洗液由通孔和渗透孔处流至清洗箱的底部，完成对所有的籽晶的清洗，清洗完成后，酸洗液由排废斗处排出。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 籽晶 酸洗 装置 | ||
【主权项】：
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