[实用新型]一种类单晶籽晶酸洗装置有效
申请号: | 202023092590.5 | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN214718736U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 陈志谋 | 申请(专利权)人: | 扬州申威光电器材有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 金华市婺实专利代理事务所(普通合伙) 33340 | 代理人: | 胡恩晗 |
地址: | 225653 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 种类 籽晶 酸洗 装置 | ||
1.一种类单晶籽晶酸洗装置,包括带支架的清洗箱,其特征在于:所述清洗箱的内部设置有若干与其一体成型的托框,每个所述托框的顶部放置有带有若干渗透孔的托板,所述托板的顶部固定设有带有若干通孔的橡胶夹紧垫,所述橡胶夹紧垫上开设有若干梯形的卡紧槽,所述清洗箱的底部设有排废斗,清洗箱的一端设有与清洗箱相连通的供酸组件。
2.根据权利要求1所述的一种类单晶籽晶酸洗装置,其特征在于:所述清洗箱包括箱体,所述箱体的顶部通过连接件轴接有箱盖,所述箱盖的底部设有与其一体成型的补位板。
3.根据权利要求2所述的一种类单晶籽晶酸洗装置,其特征在于:所述连接件包括两组固定于箱盖上的连接挂耳和固定于箱体上的安装挂耳,所述连接挂耳和安装挂耳之间通过连接轴连接。
4.根据权利要求3所述的一种类单晶籽晶酸洗装置,其特征在于:所述排废斗包括位于箱体底部的且与其相连通的带有闸板的斗体,所述斗体的端部设有与其一体成型的弧形导液板。
5.根据权利要求4所述的一种类单晶籽晶酸洗装置,其特征在于:所述支架上位于斗体的下方设有与支架一体成型的托架,所述托架上放置有带把手的废液盛接盘。
6.根据权利要求5所述的一种类单晶籽晶酸洗装置,其特征在于:所述供酸组件包括固定于箱体一端的支撑板,所述支撑板上固定设有带加酸口的供酸箱,所述供酸箱的顶部设有连接头,所述连接头上通过带泵体的软管与安装于箱盖上的喷液管相连接,所述喷液管的底部开设有若干喷液孔。
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