[实用新型]一种类单晶籽晶酸洗装置有效
申请号: | 202023092590.5 | 申请日: | 2020-12-21 |
公开(公告)号: | CN214718736U | 公开(公告)日: | 2021-11-16 |
发明(设计)人: | 陈志谋 | 申请(专利权)人: | 扬州申威光电器材有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;H01L21/683 |
代理公司: | 金华市婺实专利代理事务所(普通合伙) 33340 | 代理人: | 胡恩晗 |
地址: | 225653 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 种类 籽晶 酸洗 装置 | ||
本实用新型涉及一种类单晶籽晶酸洗装置,包括带支架的清洗箱,所述清洗箱的内部设置有若干与其一体成型的托框,每个所述托框的顶部放置有带有若干渗透孔的托板,所述托板的顶部固定设有带有若干通孔的橡胶夹紧垫,所述橡胶夹紧垫上开设有若干梯形的卡紧槽,所述清洗箱的底部设有排废斗,清洗箱的一端设有与清洗箱相连通的供酸组件;本实用新型使用时将待酸洗的籽晶放置于橡胶夹紧垫上的卡紧槽内夹紧后放入清洗箱内的托框上,籽晶放置完成后,合上箱盖,启动供酸组件对清洗箱内进行供酸,酸液喷淋在籽晶上对籽晶进行清洗,酸洗液由通孔和渗透孔处流至清洗箱的底部,完成对所有的籽晶的清洗,清洗完成后,酸洗液由排废斗处排出。
技术领域
本实用新型涉及籽晶加工设备技术领域,尤其涉及一种类单晶籽晶酸洗装置。
背景技术
用不同晶向的籽晶做晶种,会获得不同晶向的单晶,随着太阳能利用率的不断提高,光伏发电得到快速发展,硅片作为光伏发电的基础材料,通常是由单晶硅棒切割而成,现有技术中,单晶在制备过程中需要用到籽晶作为母体,以引导并承载单晶硅棒,籽晶是具有和所需晶体相同晶向的小晶体,是生长单晶的种子,也叫晶种,在太阳能光伏领域,硅料的清洗干净与否关系到产品的质量好坏,而在类单晶硅锭的铸锭中,籽晶的完整程度尤其重要,类单晶硅锭的铸锭技术中极其重要的一环就是如何制作出低损伤的籽晶,然而目前生产中,酸洗工艺所使用的花篮只适合酸洗不在乎破碎与否的循环硅料而不适合酸洗类单晶籽晶。为此,我们提出一种类单晶籽晶酸洗装置。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术存在的以上问题,提供一种类单晶籽晶酸洗装置。
为实现上述技术目的,达到上述技术效果,本实用新型通过以下技术方案实现:
一种类单晶籽晶酸洗装置,包括带支架的清洗箱,所述清洗箱的内部设置有若干与其一体成型的托框,每个所述托框的顶部放置有带有若干渗透孔的托板,所述托板的顶部固定设有带有若干通孔的橡胶夹紧垫,所述橡胶夹紧垫上开设有若干梯形的卡紧槽,所述清洗箱的底部设有排废斗,清洗箱的一端设有与清洗箱相连通的供酸组件。
进一步的,所述清洗箱包括箱体,所述箱体的顶部通过连接件轴接有箱盖,所述箱盖的底部设有与其一体成型的补位板。
进一步的,所述连接件包括两组固定于箱盖上的连接挂耳和固定于箱体上的安装挂耳,所述连接挂耳和安装挂耳之间通过连接轴连接。
进一步的,所述排废斗包括位于箱体底部的且与其相连通的带有闸板的斗体,所述斗体的端部设有与其一体成型的弧形导液板。
进一步的,所述支架上位于斗体的下方设有与支架一体成型的托架,所述托架上放置有带把手的废液盛接盘。
进一步的,所述供酸组件包括固定于箱体一端的支撑板,所述支撑板上固定设有带加酸口的供酸箱,所述供酸箱的顶部设有连接头,所述连接头上通过带泵体的软管与安装于箱盖上的喷液管相连接,所述喷液管的底部开设有若干喷液孔。
本实用新型使用时将待酸洗的籽晶放置于橡胶夹紧垫上的卡紧槽内夹紧后放入清洗箱内的托框上,籽晶放置完成后,合上箱盖,启动供酸组件对清洗箱内进行供酸,酸液喷淋在籽晶上对籽晶进行清洗,酸洗液由通孔和渗透孔处流至清洗箱的底部,完成对所有的籽晶的清洗,清洗完成后,酸洗液由排废斗处排出,避免了采用花篮的方式清洗造成籽晶损伤的问题。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本实用新型的进一步理解,构成本申请的一部分,本实用新型的示意性实施例及其说明用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的不当限定。在附图中:
图1是本实用新型一个角度的整体结构示意图;
图2是本实用新型另一个角度的整体结构示意图;
图3是本实用新型图1的部分结构示意图;
图4是本实用新型清洗箱的结构示意图;
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