[实用新型]一种用于半导体的化学退镀液收集装置

摘要

本实用新型公开了一种用于半导体的化学退镀液收集装置，包括箱体，所述箱体顶部一体成型有进液口，所述进液口外壁固定连接有进液管，所述进液管一端安装有两通接头，所述进液管外壁安装有第一截止阀，所述两通接头一侧安装有泵体，所述泵体的输入端安装有橡胶软管，所述橡胶软管端部安装有陶瓷配重块，所述箱体内腔顶部固定连接有隔板，所述进液管末端贯穿隔板，所述隔板表面边缘处对称开设有通孔，所述箱体底部中心处安装有排液管，所述箱体内腔底部环设有弧形板。本实用新型通过退镀液面上升至进液口处时，同时在隔板边缘处设置通孔，可保持隔板下方空腔气压的平衡，通过隔板可有效的阻挡退镀液飞溅，避免对工作人员造成伤害。