[实用新型]一种防止硅片放偏的自动探测控制系统有效
| 申请号： | 202023072836.2 | 申请日： | 2020-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN214311426U | 公开（公告）日： | 2021-09-28 |
| 发明（设计）人： | 李慎重;童科峰;田达晰;蒋玉龙;王震;袁东宁 | 申请（专利权）人： | 浙江金瑞泓科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G05B19/414 | 分类号： | G05B19/414;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海泰能知识产权代理事务所(普通合伙) 31233 | 代理人： | 王亮;宋缨 |
| 地址： | 315800 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种防止硅片放偏的自动探测控制系统，包括外延机台，外延机台上设置有旋转基座，旋转基座上绕着中心呈环形阵列布置有若干个用于放置硅片的基座槽，旋转基座的上方靠近基座槽中心的位置设置有第二测距传感器，第二测距传感器的一侧靠近基座槽边缘的位置设置有第一测距传感器，第二测距传感器和第一测距传感器均与PLC控制器电性相连，PLC控制器与控制外延机台的EAP控制执行操作系统相连。本实用新型增加硅片装入槽内的自动探测和识别系统，使用PLC采集和输出数据，利用EAP自动控制平台，实现硅片位置偏离检测技术监控和实时反馈，有效防止异常外延片的产生，确保外延片质量稳定可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防止 硅片 自动 探测 控制系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江金瑞泓科技股份有限公司，未经浙江金瑞泓科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202023072836.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
