[实用新型]一种快速SKY扩晶粒装置

摘要

本实用新型公开了一种快速SKY扩晶粒装置，包括安装盘，壳体，除尘组件和除静电组件，所述壳体的顶部两侧安装有支柱，所述支柱的顶部安装有顶板，所述顶板的顶部安装有上压组件，所述壳体内部的底部中央位置处安装有液压杆，所述壳体内部的一侧安装有除尘组件，所述壳体内部远离除尘组件的一侧安装有除静电组件，所述除静电组件内安装有外壳，所述外壳的内部安装有轴流风机。本实用新型通过在壳体的内部安装有除静电组件，能够利用除静电组件对玻璃罩的内部吹出带有负离子的空气，进而利用空气中的负离子对空气和装置进行静电消除，避免晶体受到静电击穿导致损坏，有利于提升晶体生产的良品率。