[实用新型]一种快速SKY扩晶粒装置有效

专利信息
申请号: 202023064538.9 申请日: 2020-12-18
公开(公告)号: CN213483723U 公开(公告)日: 2021-06-18
发明(设计)人: 王俊;李小娟 申请(专利权)人: 南通康比电子有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L33/48;H05F3/00;B01D49/00;B01D53/04
代理公司: 北京汇信合知识产权代理有限公司 11335 代理人: 章威威
地址: 226500 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 快速 sky 晶粒 装置
【权利要求书】:

1.一种快速SKY扩晶粒装置,包括安装盘(1),壳体(2),除尘组件(3)和除静电组件(5),其特征在于:所述壳体(2)的底部两侧安装有支撑座(201),所述壳体(2)的一侧设有通风口(202),所述壳体(2)的顶部两侧安装有支柱(203),所述支柱(203)的顶部安装有顶板(205),所述顶板(205)的顶部安装有上压组件(6),所述上压组件(6)内安装有液压筒(601),所述液压筒(601)的底部安装有上压板(602),所述壳体(2)的顶部安装有安装盘(1),所述安装盘(1)的内部设有限位槽(102),且安装盘(1)的内部安装有磁环(103),所述壳体(2)内部的底部中央位置处安装有液压杆(4),所述液压杆(4)的顶部固定安装有下底板(402),所述壳体(2)内部的一侧安装有除尘组件(3),所述除尘组件(3)内安装有筒体(305),所述筒体(305)内部的底部安装有微型气泵(306),且微型气泵(306)的输出端安装有延伸出壳体(2)一侧的导气管(304),所述微型气泵(306)的上方安装有净化管(303),所述壳体(2)内部远离除尘组件(3)的一侧安装有除静电组件(5),所述除静电组件(5)内安装有外壳(501),所述外壳(501)的内部安装有轴流风机(504),所述轴流风机(504)的上方安装有过滤网板(503),所述过滤网板(503)的上方安装有负离子发生器(502)。

2.根据权利要求1所述的一种快速SKY扩晶粒装置,其特征在于:所述安装盘(1)的顶部焊接有外环(104),且安装盘(1)的顶部靠近磁环(103)的位置处安装有内环(101)。

3.根据权利要求1所述的一种快速SKY扩晶粒装置,其特征在于:所述壳体(2)的顶部外侧安装有玻璃罩(204),且玻璃罩(204)的正面通过合页安装有盖板(206)。

4.根据权利要求1所述的一种快速SKY扩晶粒装置,其特征在于:所述净化管(303)的内部填充有活性炭颗粒(302),且净化管(303)的顶部安装有延伸出壳体(2)顶部的软管(301)。

5.根据权利要求1所述的一种快速SKY扩晶粒装置,其特征在于:所述液压杆(4)的一侧安装有控制阀(401),且控制阀(401)的顶部安装有延伸至液压杆(4)内部的导管。

6.根据权利要求1所述的一种快速SKY扩晶粒装置,其特征在于:所述上压板(602)的内部安装有加热板(603),且上压板(602)的顶部外侧安装有限位杆(604)。

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