[实用新型]一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统有效
申请号: | 202023062753.5 | 申请日: | 2020-12-17 |
公开(公告)号: | CN215365956U | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 李永涛 | 申请(专利权)人: | 东莞光群雷射科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/14;C23C14/06 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 陈柏陶 |
地址: | 523832 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及真空蒸镀技术领域,具体涉及一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统,包括加热系统和镀膜辊,所述镀膜辊间隔一定距离设置在所述加热系统的上方,用于传送镀膜,所述加热系统包括加热舟和电极柱组,所述电极柱组包括相对设置的正电极柱和负电极柱,所述加热舟的一端可拆卸地安装在所述正电极柱上,所述加热舟的另一端可拆卸地安装在所述负电极柱上,所述加热舟包括镀铝用蒸发舟和镀介质用钼舟,所述蒸发舟和所述钼舟择其一安装在所述电极柱组上。由于加热舟可拆卸地安装在电极柱组上,可根据镀铝或者镀介质的需求而相应地更换蒸发舟或钼舟,实现了同一蒸镀设备可进行镀铝或者镀介质两种需求,明显降低蒸镀成本,且操作简单。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空 镀铝 介质 双用蒸镀 系统 | ||
【主权项】:
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