[实用新型]一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统有效

专利信息
申请号: 202023062753.5 申请日: 2020-12-17
公开(公告)号: CN215365956U 公开(公告)日: 2021-12-31
发明(设计)人: 李永涛 申请(专利权)人: 东莞光群雷射科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/14;C23C14/06
代理公司: 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 代理人: 陈柏陶
地址: 523832 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及真空蒸镀技术领域,具体涉及一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统,包括加热系统和镀膜辊,所述镀膜辊间隔一定距离设置在所述加热系统的上方,用于传送镀膜,所述加热系统包括加热舟和电极柱组,所述电极柱组包括相对设置的正电极柱和负电极柱,所述加热舟的一端可拆卸地安装在所述正电极柱上,所述加热舟的另一端可拆卸地安装在所述负电极柱上,所述加热舟包括镀铝用蒸发舟和镀介质用钼舟,所述蒸发舟和所述钼舟择其一安装在所述电极柱组上。由于加热舟可拆卸地安装在电极柱组上,可根据镀铝或者镀介质的需求而相应地更换蒸发舟或钼舟,实现了同一蒸镀设备可进行镀铝或者镀介质两种需求,明显降低蒸镀成本,且操作简单。
搜索关键词: 一种 真空 镀铝 介质 双用蒸镀 系统
【主权项】:
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