[实用新型]一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统

说明书

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，具体涉及一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统，包括加热系统和镀膜辊，所述镀膜辊间隔一定距离设置在所述加热系统的上方，用于传送镀膜，所述加热系统包括加热舟和电极柱组，所述电极柱组包括相对设置的正电极柱和负电极柱，所述加热舟的一端可拆卸地安装在所述正电极柱上，所述加热舟的另一端可拆卸地安装在所述负电极柱上，所述加热舟包括镀铝用蒸发舟和镀介质用钼舟，所述蒸发舟和所述钼舟择其一安装在所述电极柱组上。由于加热舟可拆卸地安装在电极柱组上，可根据镀铝或者镀介质的需求而相应地更换蒸发舟或钼舟，实现了同一蒸镀设备可进行镀铝或者镀介质两种需求，明显降低蒸镀成本，且操作简单。

技术领域

本实用新型涉及真空蒸镀技术领域，具体涉及一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统。

背景技术

真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜的技术，其原理是真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体表面，真空镀膜包括蒸发镀膜、溅射镀膜以及离子镀三种形式，其中，最常见的为蒸发镀膜，其通过加热蒸发某种物质使其沉积在固体表面。

目前，蒸发镀膜主要用于镀铝或镀介质，但是现有的蒸镀设备只能实现镀铝、镀介质(硫化锌)其中一种，即一个蒸镀设备只能镀铝或者镀介质，若想更换蒸镀物质只能更换设备，亦即是需要两个蒸镀设备备用，蒸镀成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的在于针对现有技术的不足，提供一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统，能够在同一蒸镀设备内镀铝、镀介质，明显降低蒸镀成本，且操作简单。

为实现上述目的，本实用新型采用如下技术方案：

提供一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统，包括加热系统和镀膜辊，所述镀膜辊间隔一定距离设置在所述加热系统的上方，用于传送镀膜，所述加热系统包括加热舟和电极柱组，所述电极柱组包括相对设置的正电极柱和负电极柱，所述加热舟的一端可拆卸地安装在所述正电极柱上，所述加热舟的另一端可拆卸地安装在所述负电极柱上，所述加热舟包括镀铝用蒸发舟和镀介质用钼舟，所述蒸发舟和所述钼舟择其一安装在所述电极柱组上。

上述技术方案中，所述加热系统还包括蒸镀槽，所述电极柱组安装在所述蒸镀槽内。

上述技术方案中，所述蒸镀槽的一侧壁上方设置有铝丝传送辊，所述铝丝传送辊用于传送铝丝至所述蒸发舟。

上述技术方案中，所述钼舟上放置有硫化锌介质。

上述技术方案中，所述蒸镀槽的正上方可拆卸安装有挡板，所述挡板上在沿着所述镀膜宽度的方向间隔设置有矩形孔，相邻矩形孔之间形成遮挡部。

上述技术方案中，所述蒸发舟为导电氧化硼蒸发舟，所述蒸发舟的两端和所述钼舟的两端均包覆有石墨纸。

本实用新型的有益效果：

本实用新型的真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统，由于加热舟可拆卸地安装在电极柱组上，可根据镀铝或者镀介质的需求而相应地更换蒸发舟或钼舟，实现了同一蒸镀设备可进行镀铝或者镀介质两种需求，明显降低蒸镀成本，且操作简单。

附图说明

附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本实用新型的限制，而且在整个附图中，用相同的附图标记表示相同的部件。

图1为本实用新型的蒸镀系统的结构示意图。

图2为镀铝时加热系统的俯视图。

图3为镀介质时加热系统的俯视图。

图4为挡板的结构示意图。

附图标记：加热舟1，蒸发舟11，钼舟12，正电极柱2，负电极柱3，蒸镀槽4，铝丝传送辊5，镀膜辊6，镀膜7，挡板8，矩形孔81，遮挡部82。

具体实施方式