[实用新型]一种真空镀铝、镀介质双用蒸镀系统有效
申请号: | 202023062753.5 | 申请日: | 2020-12-17 |
公开(公告)号: | CN215365956U | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 李永涛 | 申请(专利权)人: | 东莞光群雷射科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/14;C23C14/06 |
代理公司: | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人: | 陈柏陶 |
地址: | 523832 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 镀铝 介质 双用蒸镀 系统 | ||
1.一种真空镀铝、镀硫化锌双用蒸镀系统,包括加热系统和镀膜辊,所述镀膜辊间隔一定距离设置在所述加热系统的上方,用于传送镀膜,其特征在于:所述加热系统包括加热舟和电极柱组,所述电极柱组包括相对设置的正电极柱和负电极柱,所述加热舟的一端可拆卸地安装在所述正电极柱上,所述加热舟的另一端可拆卸地安装在所述负电极柱上,所述加热舟包括镀铝用蒸发舟和镀硫化锌用钼舟,所述蒸发舟和所述钼舟择其一安装在所述电极柱组上。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀铝、镀硫化锌双用蒸镀系统,其特征在于:所述加热系统还包括蒸镀槽,所述电极柱组安装在所述蒸镀槽内。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀铝、镀硫化锌双用蒸镀系统,其特征在于:所述蒸镀槽的一侧壁上方设置有铝丝传送辊,所述铝丝传送辊用于传送铝丝至所述蒸发舟。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀铝、镀硫化锌双用蒸镀系统,其特征在于:所述钼舟上放置有硫化锌介质。
5.根据权利要求2所述的一种真空镀铝、镀硫化锌双用蒸镀系统,其特征在于:所述蒸镀槽的正上方可拆卸安装有挡板,所述挡板上在沿着镀膜宽度的方向间隔设置有矩形孔,相邻矩形孔之间形成遮挡部。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀铝、镀硫化锌双用蒸镀系统,其特征在于:所述蒸发舟为导电氧化硼蒸发舟,所述蒸发舟的两端和所述钼舟的两端均包覆有石墨纸。
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