[实用新型]一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具有效
| 申请号： | 202023051597.2 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN213866405U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 周东平 | 申请（专利权）人： | 镇江晶鼎光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/34 |
| 代理公司： | 苏州市方略专利代理事务所(普通合伙) 32267 | 代理人： | 李瑞清 |
| 地址： | 212000 江苏省镇江市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，属于镀膜机夹具领域，包括转动轴、底座及顶座，所述转动轴依次穿过顶座及底座上的连接孔并与顶座及底座相连，所述底座上表面及顶座下表面上均设有一对横向的第一凹槽，一对所述第一凹槽分别设于连接孔两侧，所述底座及顶座之间通过一对侧板相连，一对所述侧板分别设于转动轴两侧，所述侧板远离转动轴侧面上设有纵向的第三凹槽。该种溅射镀膜机的双面镀膜夹具可很好地固定住陶瓷基片，可使陶瓷基片两面均能很好地进行镀膜，可有效提高溅射镀膜机对陶瓷基片的镀膜效率及镀膜质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 镀膜 双面 夹具 | ||
【主权项】：
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