[实用新型]一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具

权利要求书

1.一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：包括转动轴（1）、底座（2）及顶座（3），所述转动轴（1）依次穿过顶座（3）及底座（2）上的连接孔（23）并与顶座（3）及底座（2）相连，所述底座（2）上表面及顶座（3）下表面上均设有一对横向的第一凹槽（21），一对所述第一凹槽（21）分别设于连接孔（23）两侧，所述底座（2）及顶座（3）之间通过一对侧板（4）相连，一对所述侧板（4）分别设于转动轴（1）两侧，所述侧板（4）远离转动轴（1）侧面上设有纵向的第三凹槽（41）。

2.根据权利要求1所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述底座（2）及顶座（3）两端部外侧均通过固定板（5）可拆卸相连。

3.根据权利要求2所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述底座（2）及顶座（3）两端侧面均设有第二凹槽（22），所述固定板（5）侧面靠近上端及下端处均设有第一连接块（51），所述第一连接块（51）与第二凹槽（22）形状尺寸相适应，且位置相对应。

4.根据权利要求2或3所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述固定板（5）与侧板（4）之间设有一组盖板（6），所述盖板（6）可沿固定板（5）及侧板（4）移动。

5.根据权利要求4所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述固定板（5）靠近侧板（4）面上设有第四凹槽（52），所述第四凹槽（52）与第三凹槽（41）位置相对且形状尺寸相同，所述盖板（6）两端均设有第二连接块（62），所述第二连接块（62）宽度与第三凹槽（41）或第四凹槽（52）宽度相等，且可沿第三凹槽（41）及第四凹槽（52）移动。

6.根据权利要求5所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述盖板（6）上、下表面均设有第五凹槽（61），所述第五凹槽（61）设于第一凹槽（21）正上方。

7.根据权利要求1所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，其特征在于：所述连接孔（23）处设有密封圈（231）。