[实用新型]一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具

说明书

本实用新型公开了一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，属于镀膜机夹具领域，包括转动轴、底座及顶座，所述转动轴依次穿过顶座及底座上的连接孔并与顶座及底座相连，所述底座上表面及顶座下表面上均设有一对横向的第一凹槽，一对所述第一凹槽分别设于连接孔两侧，所述底座及顶座之间通过一对侧板相连，一对所述侧板分别设于转动轴两侧，所述侧板远离转动轴侧面上设有纵向的第三凹槽。该种溅射镀膜机的双面镀膜夹具可很好地固定住陶瓷基片，可使陶瓷基片两面均能很好地进行镀膜，可有效提高溅射镀膜机对陶瓷基片的镀膜效率及镀膜质量。

技术领域

本实用新型属于镀膜机夹具领域，具体地，涉及一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具。

背景技术

溅射镀膜机利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。双面溅射镀膜技术可对基材两面进行镀膜，是现阶段被广泛使用的镀膜技术，普遍应用于微电子、陶瓷材料等领域，市场应用需求很大，由于溅射镀膜加工效率高，膜层均匀细腻，因此现在很多都用来对陶瓷基片进行镀膜。在镀膜过程中需要将基片采用夹具进行固定，然后夹具在镀膜机内旋转，进行双面镀膜操作。现有技术中的双面溅射镀膜工装装置装夹效率、稳定和可靠性低，可批量加工的数量少，在实际应用中，有部分基材表面镀不上膜，影响加工质量。

实用新型内容

为了解决以上问题，本实用新型提供一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，该种溅射镀膜机的双面镀膜夹具可很好地固定住陶瓷基片，可使陶瓷基片两面均能很好地进行镀膜，可有效提高溅射镀膜机对陶瓷基片的镀膜效率及镀膜质量。

为了达到上述目的，本实用新型通过以下技术方案来实现：一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，包括转动轴、底座及顶座，所述转动轴依次穿过顶座及底座上的连接孔并与顶座及底座相连，所述底座上表面及顶座下表面上均设有一对横向的第一凹槽，一对所述第一凹槽分别设于连接孔两侧，所述底座及顶座之间通过一对侧板相连，一对所述侧板分别设于转动轴两侧，所述侧板远离转动轴侧面上设有纵向的第三凹槽。转动轴由镀膜机内的旋转驱动机构驱动旋转，带动陶瓷基片进行转动，从而对陶瓷基片双面进行镀膜，陶瓷基片底部设在第一凹槽上，侧面由第三凹槽卡住固定，整体呈竖立状态。

进一步地，所述底座及顶座两端部外侧均通过固定板可拆卸相连。

进一步地，所述底座及顶座两端侧面均设有第二凹槽，所述固定板侧面靠近上端及下端处均设有第一连接块，所述第一连接块与第二凹槽形状尺寸相适应，且位置相对应。通过第一连接块与第二凹槽的结合，来实现固定板与底座及顶座的相连。

进一步地，所述固定板与侧板之间设有一组盖板，所述盖板可沿固定板及侧板移动。盖板可对陶瓷基片顶部进行固定，而且可同时对多个陶瓷基片进行镀膜，可有效提高对陶瓷基片的镀膜效率。

进一步地，所述固定板靠近侧板面上设有第四凹槽，所述第四凹槽与第三凹槽位置相对且形状尺寸相同，所述盖板两端均设有第二连接块，所述第二连接块宽度与第三凹槽或第四凹槽宽度相等，且可沿第三凹槽及第四凹槽移动。盖板两端可分别沿第四凹槽及第三凹槽移动，方便对陶瓷基片的固定，同时陶瓷基片侧面可卡在第四凹槽内，以增强对陶瓷基片的固定。

进一步地，所述盖板上、下表面均设有第五凹槽，所述第五凹槽设于第一凹槽正上方。陶瓷基片上端或下端均可卡在第五凹槽内，以增强对陶瓷基片的固定。

进一步地，所述连接孔处设有密封圈。可增强转动轴与底座及顶座之间的稳固性，使底座及顶座可以很好地带动产品随转动轴转动。

有益效果：与现有技术相比，本实用新型具有以下优点：本实用新型提供的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具，该种溅射镀膜机的双面镀膜夹具可很好地固定住陶瓷基片，可使陶瓷基片两面均能很好地进行镀膜，而且可同时对多个陶瓷基片进行镀膜，可有效提高溅射镀膜机对陶瓷基片的镀膜效率及镀膜质量。

附图说明

图1为本实用新型所述的一种溅射镀膜机的双面镀膜夹具结构图；