[实用新型]一种基板固定装置和溅射镀膜机有效
| 申请号： | 202023014855.X | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN214655220U | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 林志东;尤建发;李雷;叶俊锋;杨濬哲;许珂鸣 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/35 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 连耀忠;林燕玲 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 一种基板固定装置和溅射镀膜机，包括固定座，其开设有贯通第一表面和第二表面的装配孔，该装配孔的第一表面所在侧设有径向延伸的限位部，装配孔内壁还设有卡槽；还包括有弹性卡环，该弹性卡环外部至少局部嵌于卡槽，弹性卡环内部至少局部外凸于卡槽且与限位部之间构成容纳槽以固定基板，该弹性卡环还设有操作部以被操作使得弹性卡环变形。本实用新型结构简单、体积小、便于安装操作，还能避免对基板挤压，降低破片率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 固定 装置 溅射 镀膜 | ||
【主权项】：
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