[实用新型]一种基板固定装置和溅射镀膜机

权利要求书

1.一种基板固定装置，包括固定座，其开设有贯通第一表面和第二表面的装配孔，其特征在于：该装配孔的第一表面所在侧设有径向延伸的限位部，装配孔内壁还设有卡槽；还包括有弹性卡环，该弹性卡环外部至少局部嵌于卡槽，弹性卡环内部至少局部外凸于卡槽且与限位部之间构成容纳槽以固定基板，该弹性卡环还设有操作部以被操作使得弹性卡环变形。

2.如权利要求1所述的一种基板固定装置，其特征在于：所述弹性卡环设有缺口，所述操作部位于缺口处。

3.如权利要求2所述的一种基板固定装置，其特征在于：所述操作部包括有两操作端，一操作端位于缺口一端，另一操作端位于缺口另一端。

4.如权利要求1所述的一种基板固定装置，其特征在于：所述操作部包括第一延伸段和第二延伸段，该第一延伸段从所述弹性卡环内部延伸至所述固定座的第二表面外，所述第二延伸段为从所述第一延伸段一端沿径向向外延伸，该第二延伸段与所述固定座的第二表面之间具有距离。

5.如权利要求4所述的一种基板固定装置，其特征在于：所述容纳槽内径大于等于所述基板外径。

6.如权利要求1或4所述的一种基板固定装置，其特征在于：所述操作部还设有折弯段，该折弯段末端靠近所述固定座的第二表面。

7.如权利要求1所述的一种基板固定装置，其特征在于：所述弹性卡环设有至少一凸部，所述卡槽内壁对应设有至少一凹部，该凸部卡入对应凹部内；该凸部位于与所述操作部相对一侧。

8.如权利要求1所述的一种基板固定装置，其特征在于：所述装配孔的第二表面所在侧的内径大于等于所述容纳槽的内径。

9.如权利要求1所述的一种基板固定装置，其特征在于：所述弹性卡环的内径小于所述容纳槽的内径，弹性卡环的外径大于所述装配孔的第二表面所在侧的内径。

10.一种溅射镀膜机，包括镀膜机主体，其特征在于，还包括权利要求1至9中任一项所述的一种基板固定装置。