[实用新型]一种高纯氟化氢使用的输送系统有效
| 申请号： | 202022962558.1 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN213954977U | 公开（公告）日： | 2021-08-13 |
| 发明（设计）人： | 曹振宇 | 申请（专利权）人： | 曹振宇 |
| 主分类号： | F17C1/00 | 分类号： | F17C1/00;F17C7/00;F17C13/02;F17C13/00;F17C13/08 |
| 代理公司： | 郑州意创知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 41138 | 代理人： | 张江森 |
| 地址： | 455000 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯氟化氢使用的输送系统，包括底座和柜体，底座顶部的中心固定安装有减震柱，柜体的内部通过隔板从上到下依次分隔为HF供应室和HF检测室，HF供应室内壁的一侧从上到下依次固定安装有报警器和处理器，HF供应室内壁的另一侧从上到下依次固定安装有总碳氢化合物分析器、颗粒度分析器、氧分分析器和水分分析器，本实用新型一种高纯氟化氢使用的输送系统，两个气体检测器实时监控房间和柜体的HF浓度，控制房间换气直接排放大气还是排放到废气处理内，加热圈的设置可以防止HF产生冷凝，若干个换气片和两个换气风机的安装，确保即使柜体泄漏也不会有HF聚集，维修板的设置便于使用者及时对柜体进行维修。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 氟化氢 使用 输送 系统 | ||
【主权项】：
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