[实用新型]一种高纯氟化氢使用的输送系统

说明书

本实用新型公开了一种高纯氟化氢使用的输送系统，包括底座和柜体，底座顶部的中心固定安装有减震柱，柜体的内部通过隔板从上到下依次分隔为HF供应室和HF检测室，HF供应室内壁的一侧从上到下依次固定安装有报警器和处理器，HF供应室内壁的另一侧从上到下依次固定安装有总碳氢化合物分析器、颗粒度分析器、氧分分析器和水分分析器，本实用新型一种高纯氟化氢使用的输送系统，两个气体检测器实时监控房间和柜体的HF浓度，控制房间换气直接排放大气还是排放到废气处理内，加热圈的设置可以防止HF产生冷凝，若干个换气片和两个换气风机的安装，确保即使柜体泄漏也不会有HF聚集，维修板的设置便于使用者及时对柜体进行维修。

技术领域

本实用新型涉及高纯氟化氢输送领域，具体为一种高纯氟化氢使用的输送系统。

背景技术

HF为无色气体，有强烈刺激性气味，在气瓶中以液化气形式存在，极易溶于水，泄漏到空气中，与空气中水分子结合会产生白烟；剧毒，强烈腐蚀性，ppm即产生刺激性味道，吸入较高浓度氟化氢即可引起眼和呼吸道刺激症状，还可导致眼结膜、口腔粘膜和鼻腔粘膜溃疡，喉头水肿窒息，生产中接触到氟化氢需尽快用六氟灵冲洗，然后在灼伤处涂抹葡萄糖酸钙凝胶。

HF及其替代品是化工行业和半导体行业的主要原料之一，多用于清洗，刻蚀，用量很大，对纯度要求不高，故其供应多采用大包装容器，通过气体架分流、压力控制后经过PCTFE管路运送至POU，在线low-e中HF做为一种重要工艺原料，对纯度要求很高，需要精确控制，同时也要保证使用者的安全。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种高纯氟化氢使用的输送系统，以解决上述背景技术中提出HF及其替代品是化工行业和半导体行业的主要原料之一，多用于清洗，刻蚀，用量很大，对纯度要求不高，故其供应多采用大包装容器，通过气体架分流、压力控制后经过PCTFE管路运送至POU，在线low-e中HF做为一种重要工艺原料，对纯度要求很高，需要精确控制，同时也要保证使用者的安全的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种高纯氟化氢使用的输送系统，包括底座和柜体，所述底座顶部的中心固定安装有减震柱，所述减震柱的顶部与柜体底部的中心固定连接，所述柜体的内部通过隔板从上到下依次分隔为HF供应室和HF检测室，所述HF供应室内壁的一侧从上到下依次固定安装有报警器和处理器，所述HF供应室内壁的另一侧从上到下依次固定安装有总碳氢化合物分析器、颗粒度分析器、氧分分析器和水分分析器，所述HF供应室内壁顶部的中心固定安装有泵吸附式气体检测器，所述柜体背面底部的两端分别固定安装有开关和报警按钮，所述总碳氢化合物分析器、颗粒度分析器、氧分分析器、水分分析器、报警器和泵吸附式气体检测器均与处理器电性连接，所述处理器通过开关与外接电源电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述HF检测室内壁底部的两端分别固定安装有第一气体检测器和第二气体检测器，所述第一气体检测器和第二气体检测器均与处理器电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述柜体背面的中部固定安装有压力表，所述柜体背面的顶部固定连通有输送管，所述输送管的外部套设有加热圈，所述加热圈的内部填充有若干个电阻丝，若干个所述电阻丝均与处理器电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述柜体的一侧固定安装有若干个换气片，所述柜体另一侧的两端均固定安装有换气风机，两个所述换气风机均通过开关与外接电源电性连接。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述柜体正面的中部固定安装有维修板。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、两个气体检测器实时监控房间和柜体的HF浓度，基于此来控制房间换气直接排放大气还是排放到废气处理内，加热圈的设置即可满足使用，又可以防止HF产生冷凝；

2、若干个换气片和两个换气风机的安装，确保即使柜体泄漏也不会有HF聚集，维修板的设置便于使用者及时对柜体进行维修。