[实用新型]一种高纯氟化氢使用的输送系统

权利要求书

1.一种高纯氟化氢使用的输送系统，包括底座(1)和柜体(12)，其特征在于：所述底座(1)顶部的中心固定安装有减震柱(2)，所述减震柱(2)的顶部与柜体(12)底部的中心固定连接，所述柜体(12)的内部通过隔板(6)从上到下依次分隔为HF供应室(11)和HF检测室(5)，所述HF供应室(11)内壁的一侧从上到下依次固定安装有报警器(14)和处理器(15)，所述HF供应室(11)内壁的另一侧从上到下依次固定安装有总碳氢化合物分析器(10)、颗粒度分析器(9)、氧分分析器(8)和水分分析器(7)，所述HF供应室(11)内壁顶部的中心固定安装有泵吸附式气体检测器(13)，所述柜体(12)背面底部的两端分别固定安装有开关(18)和报警按钮(19)，所述总碳氢化合物分析器(10)、颗粒度分析器(9)、氧分分析器(8)、水分分析器(7)、报警器(14)和泵吸附式气体检测器(13)均与处理器(15)电性连接，所述处理器(15)通过开关(18)与外接电源电性连接。

2.根据权利要求1所述的一种高纯氟化氢使用的输送系统，其特征在于：所述HF检测室(5)内壁底部的两端分别固定安装有第一气体检测器(3)和第二气体检测器(4)，所述第一气体检测器(3)和第二气体检测器(4)均与处理器(15)电性连接。

3.根据权利要求1所述的一种高纯氟化氢使用的输送系统，其特征在于：所述柜体(12)背面的中部固定安装有压力表(20)，所述柜体(12)背面的顶部固定连通有输送管(16)，所述输送管(16)的外部套设有加热圈(17)，所述加热圈(17)的内部填充有若干个电阻丝，若干个所述电阻丝均与处理器(15)电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种高纯氟化氢使用的输送系统，其特征在于：所述柜体(12)的一侧固定安装有若干个换气片(21)，所述柜体(12)另一侧的两端均固定安装有换气风机(22)，两个所述换气风机(22)均通过开关(18)与外接电源电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种高纯氟化氢使用的输送系统，其特征在于：所述柜体(12)正面的中部固定安装有维修板(23)。