[实用新型]一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置有效

专利信息
申请号: 202022960201.X 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN213943205U 公开(公告)日: 2021-08-13
发明(设计)人: 赵天雪 申请(专利权)人: 成都伍田机械技术有限责任公司
主分类号: B01L7/00 分类号: B01L7/00
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 徐佳慧
地址: 610000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要: 实用新型公开了一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置,包括外基座以及外基座上固定连接的加热设备,所述外基座内腔间隙配合有内托盘、外坩埚壳以及内坩埚壳,所述外基座内腔固定连接有挡口,内坩埚壳外侧固定连接有第一挡盘,所述挡口与第一挡盘抵接,所述内托盘底端开设有开口槽,所述内托盘顶端与第二挡盘抵接。本实用新型中,采用空腔式侧壁预热机构,实现了对于内坩埚壳以及外坩埚壳进行方便的预热操作,采用了滑道式间距可调贴合加热结构,实现了内坩埚壳与外坩埚壳之间的贴合以及侧向加热使用。
搜索关键词: 一种 应用于 qpq 处理 技术 坩埚 预热 装置
【主权项】:
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