[实用新型]一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置有效
申请号: | 202022960201.X | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN213943205U | 公开(公告)日: | 2021-08-13 |
发明(设计)人: | 赵天雪 | 申请(专利权)人: | 成都伍田机械技术有限责任公司 |
主分类号: | B01L7/00 | 分类号: | B01L7/00 |
代理公司: | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人: | 徐佳慧 |
地址: | 610000 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 qpq 处理 技术 坩埚 预热 装置 | ||
1.一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置,包括外基座(1)以及外基座(1)上固定连接的加热设备(13),其特征在于,所述外基座(1)内腔间隙配合有内托盘(2)、外坩埚壳(10)以及内坩埚壳(11),所述外基座(1)内腔固定连接有挡口(3),内坩埚壳(11)外侧固定连接有第一挡盘(8),所述挡口(3)与第一挡盘(8)抵接,所述内托盘(2)底端开设有开口槽(12),所述内托盘(2)顶端与第二挡盘(9)抵接。
2.根据权利要求1所述的一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置,其特征在于,所述外基座(1)内腔开设有滑槽(4),所述滑槽(4)内滑动连接有滑块(6)。
3.根据权利要求2所述的一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置,其特征在于,所述内托盘(2)顶端固定连接有连杆(14),所述滑块(6)底端与连杆(14)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置,其特征在于,所述滑槽(4)顶部壳体处周向转动连接有转口(7),所述转口(7)底端固定连接有螺纹杆(5),所述滑块(6)与螺纹杆(5)螺纹旋合连接。
5.根据权利要求4所述的一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置,其特征在于,所述转口(7)贯穿滑槽(4)顶端壳体处且与外基座(1)开口处轴向卡接。
6.根据权利要求1所述的一种应用于QPQ处理技术的坩埚前序预热装置,其特征在于,所述外坩埚壳(10)与内坩埚壳(11)之间间隙配合,所述外基座(1)与内托盘(2)之间间隙配合。
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