[实用新型]一种测试精度高的晶圆探针台有效
| 申请号： | 202022940041.2 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN213875765U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 赵峰 | 申请（专利权）人： | 恩士力半导体无锡有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/073 |
| 代理公司： | 无锡知更鸟知识产权代理事务所(普通合伙) 32468 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种测试精度高的晶圆探针台，包括：固定台、定位导套、上光电开关和定位导柱，所述固定台顶部中央通过螺钉固定连接有测试台，所述固定台顶部位于测试台外侧通过螺钉阵列固定连接有同步电动升降杆，所述同步电动升降杆之间位于测试台上方通过滑块滑动连接有连接块，本实用新型当下光电开关检测到限位块信号时，同步电动升降杆进行慢速下降，直至同步电动升降杆下降至设定值，同时上光电开关检测到限位块信号，此时同步电动升降杆自动停止下降，通过下光电开关以及缓冲弹簧的下降缓冲，通过同步电动升降杆以及上光电开关的双重信号定位，保证探针卡定位精准，防止探针卡对晶圆造成损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测试 精度 探针 | ||
【主权项】：
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