[实用新型]一种测试精度高的晶圆探针台有效
| 申请号： | 202022940041.2 | 申请日： | 2020-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN213875765U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 赵峰 | 申请（专利权）人： | 恩士力半导体无锡有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/04 | 分类号： | G01R1/04;G01R1/073 |
| 代理公司： | 无锡知更鸟知识产权代理事务所(普通合伙) 32468 | 代理人： | 张涛 |
| 地址： | 214000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 测试 精度 探针 | ||
1.一种测试精度高的晶圆探针台，其特征在于，包括：
固定台(1)；
定位导套(5)；
上光电开关(6)；
定位导柱(8)，
其中，所述固定台(1)顶部中央通过螺钉固定连接有测试台(4)，所述固定台(1)顶部位于测试台(4)外侧通过螺钉阵列固定连接有同步电动升降杆(2)，所述同步电动升降杆(2)之间位于测试台(4)上方通过滑块滑动连接有连接块(301)，所述连接块(301)之间通过卡接固定连接有探针卡(3)，所述连接块(301)底部中央通过卡接固定连接有定位导套(5)，所述定位导套(5)内部中央通过插接活动连接有定位导柱(8)，所述定位导柱(8)底部一端通过卡接与固定台(1)顶面固定连接，所述定位导柱(8)外侧通过套接活动连接有缓冲弹簧(9)，所述定位导套(5)内壁上半部通过螺钉固定连接有上光电开关(6)，所述定位导套(5)内壁下半部通过螺钉固定连接有下光电开关(7)。
2.根据权利要求1所述的一种测试精度高的晶圆探针台，其特征在于：所述测试台(4)还包括：晶圆吸盘(401)，所述测试台(4)顶面通过螺钉固定连接有晶圆吸盘(401)。
3.根据权利要求1所述的一种测试精度高的晶圆探针台，其特征在于：所述定位导套(5)还包括：固定板(501)，所述定位导套(5)下半部内壁通过卡接固定连接有固定板(501)，所述固定板(501)中央位于定位导柱(8)插接部位开设有通孔。
4.根据权利要求1所述的一种测试精度高的晶圆探针台，其特征在于：所述定位导柱(8)还包括：限位块(801)，所述定位导柱(8)顶部通过卡接固定连接有限位块(801)。
5.根据权利要求1所述的一种测试精度高的晶圆探针台，其特征在于：所述同步电动升降杆(2)有四个，四个所述同步电动升降杆(2)在固定台(1)上呈90度均匀排布。
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