[实用新型]一种测试精度高的晶圆探针台

说明书

本实用新型公开了一种测试精度高的晶圆探针台，包括：固定台、定位导套、上光电开关和定位导柱，所述固定台顶部中央通过螺钉固定连接有测试台，所述固定台顶部位于测试台外侧通过螺钉阵列固定连接有同步电动升降杆，所述同步电动升降杆之间位于测试台上方通过滑块滑动连接有连接块，本实用新型当下光电开关检测到限位块信号时，同步电动升降杆进行慢速下降，直至同步电动升降杆下降至设定值，同时上光电开关检测到限位块信号，此时同步电动升降杆自动停止下降，通过下光电开关以及缓冲弹簧的下降缓冲，通过同步电动升降杆以及上光电开关的双重信号定位，保证探针卡定位精准，防止探针卡对晶圆造成损伤。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种测试精度高的晶圆探针台。

背景技术

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。晶圆制作完成后而尚未切割封装之际，为确保晶圆良率及避免封装的浪费，须执行晶圆电性测试及分析制程。探针卡与测试机构成测试回路，于封装前，以探针针测晶粒，筛选出电性功能不良的芯片，避免不良品造成后段制造成本的浪费。

但是，传统的晶圆探针台在使用过程中存在一些弊端，比如：

传统的晶圆探针台在使用过程中为提高测试效率往往使用探针卡进行高积密度测试，在进行测试时，探针卡垂直上下移动，使得探针卡上的探针与晶圆接触构成测试回路，但是在探针卡上下移动的过程中仅仅依靠探针卡的升降机构进行定位，定位精度不高的同时，安全性较差，当升降定位机构出现故障时，容易造成晶圆或者探针卡损伤，影响测试的顺利进行。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种测试精度高的晶圆探针台，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种测试精度高的晶圆探针台，包括：固定台、定位导套、上光电开关和定位导柱，所述固定台顶部中央通过螺钉固定连接有测试台，所述固定台顶部位于测试台外侧通过螺钉阵列固定连接有同步电动升降杆，所述同步电动升降杆之间位于测试台上方通过滑块滑动连接有连接块，所述连接块之间通过卡接固定连接有探针卡，所述连接块底部中央通过卡接固定连接有定位导套，所述定位导套内部中央通过插接活动连接有定位导柱，所述定位导柱底部一端通过卡接与固定台顶面固定连接，所述定位导柱外侧通过套接活动连接有缓冲弹簧，所述定位导套内壁上半部通过螺钉固定连接有上光电开关，所述定位导套内壁下半部通过螺钉固定连接有下光电开关。

进一步的，所述测试台还包括：晶圆吸盘，所述测试台顶面通过螺钉固定连接有晶圆吸盘。

进一步的，所述定位导套还包括：固定板，所述定位导套下半部内壁通过卡接固定连接有固定板，所述固定板中央位于定位导柱插接部位开设有通孔。

进一步的，所述定位导柱还包括：限位块，所述定位导柱顶部通过卡接固定连接有限位块。

进一步的，所述同步电动升降杆有四个，四个所述同步电动升降杆在固定台上呈度均匀排布。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型通过设置的定位导套、上光电开关、下光电开关以及定位导柱，实现了在晶圆探针台使用时，通过晶圆吸盘对晶圆进行吸附固定，通过同步电动升降杆带动探针卡下降，此时，定位导套跟随下降，当下光电开关检测到限位块信号时，同步电动升降杆进行慢速下降，直至同步电动升降杆下降至设定值，同时上光电开关检测到限位块信号，此时同步电动升降杆自动停止下降，通过下光电开关以及缓冲弹簧的下降缓冲，通过同步电动升降杆以及上光电开关的双重信号定位，保证探针卡定位精准，防止探针卡对晶圆造成损伤。

附图说明

图1为本实用新型整体主视结构剖视示意图；

图2为本实用新型图1中A处放大结构示意图；