[实用新型]一种用于石英晶体谐振器真空退火装置

摘要

本实用新型公开了一种用于石英晶体谐振器真空退火装置，包括工作台，所述工作台上设有立板、等待室、预热室、退火室、第一冷却室和第二冷却室，所述立板上设有输送机构，所述输送机构用于输送载有石英晶体谐振器的载物室，所述等待室、所述预热室、所述退火室、所述第一冷却室和所述第二冷却室的顶部均设有能够打开的密封门，所述输送机构包括滑块，所述滑块的下面设有上压板，所述上压板的下面设有若干个吸盘，所述上压板的外周上套设有密封圈，所述密封圈和若干个密封门均密封连接，所述载物室包括若干个载物台，若干个载物台的上面共同连接有下压板，所述上压板和所述下压板上下对应，本实用新型不仅退火效果好，且工作效率高。