[实用新型]一种用于石英晶体谐振器真空退火装置

说明书

本实用新型公开了一种用于石英晶体谐振器真空退火装置，包括工作台，所述工作台上设有立板、等待室、预热室、退火室、第一冷却室和第二冷却室，所述立板上设有输送机构，所述输送机构用于输送载有石英晶体谐振器的载物室，所述等待室、所述预热室、所述退火室、所述第一冷却室和所述第二冷却室的顶部均设有能够打开的密封门，所述输送机构包括滑块，所述滑块的下面设有上压板，所述上压板的下面设有若干个吸盘，所述上压板的外周上套设有密封圈，所述密封圈和若干个密封门均密封连接，所述载物室包括若干个载物台，若干个载物台的上面共同连接有下压板，所述上压板和所述下压板上下对应，本实用新型不仅退火效果好，且工作效率高。

技术领域

本实用新型涉及石英晶体生产，具体涉及一种用于石英晶体谐振器真空退火装置。

背景技术

石英晶体谐振器在制造的过程中由于工序不同，因此在材料内部会产生应力，为了消除应力，以提高谐振器的稳定性，人们会对石英晶片谐振器进行退火处理，现有技术中，退火装置结构单一，因此退火大多是半人工半自动化实现的，这样不仅效率低，且会造成退火处理之后谐振器的参数发生改变，从而影响谐振器的质量。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种用于石英晶体谐振器真空退火装置，以解决上述技术问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种用于石英晶体谐振器真空退火装置，包括工作台，所述工作台上设有立板、等待室、预热室、退火室、第一冷却室和第二冷却室，所述立板上设有输送机构，所述输送机构用于输送载有石英晶体谐振器的载物室，所述等待室、所述预热室、所述退火室、所述第一冷却室和所述第二冷却室从左到右依次排列在所述工作台上，所述等待室、所述预热室、所述退火室、所述第一冷却室和所述第二冷却室的顶部均设有能够打开的密封门，所述密封门通过安装在所述立板一侧的控制器控制启闭，所述输送机构包括可水平移动的滑块，所述滑块的下面设有可上下移动的上压板，所述上压板的下面设有若干个吸盘，所述上压板的外周上套设有密封圈，所述密封圈和若干个密封门均密封连接，所述载物室包括若干个载物台，若干个载物台的上面共同连接有下压板，所述上压板和所述下压板上下对应。

进一步地，所述密封圈包括密封圈主体，所述密封圈主体套设在所述上压板的外周上，所述密封圈主体的上面连接有固定部，所述固定部的下面设有若干个第一定位圈，所述密封圈主体的内侧连接有若干个第二定位圈，所述密封圈主体的外侧连接有若干个密封部。

更进一步地，所述密封部包括从上到下依次连接的第一密封唇、第二密封唇和第三密封唇。

进一步地，相邻两个载物台之间通过连板连接，所述载物台内设有若干个可单独放置石英晶体谐振器的间隔，所述上压板的下面设有一对上感应器，所述预热室、所述退火室、所述第一冷却室和所述第二冷却室的上面均设有一对下感应器，所述上感应器和相对应侧的下感应器上下对应。

更进一步地，所述上压板的上面外端开设有环形的定位口，所述固定部位于所述定位口内，所述定位口的下面开设有若干个第一定位槽，所述第一定位圈嵌设在相对应的第一定位槽内，所述上压板的外侧开设有若干个第二定位槽，所述第二定位圈嵌设在相对应的所述第二定位槽内。

进一步地，所述输送机构还包括电机和丝杆，所述丝杆安装在所述电机的输出端，所述滑块内设有螺母，所述螺母和所述丝杆螺纹连接，通过螺母使得滑块和所述丝杆滑动连接，所述滑块的下面连接有气缸，所述上压板连接在所述气缸的下端。

进一步地，所述预热室的内部设有若干个第一加热管，所述退火室的内部设有若干个第二加热管。

进一步地，所述第一冷却室内设有若干个氮气管，所述氮气管的一端外接氮气源，所述氮气管的另一端下面设有若干个冷却喷口。

进一步地，所述第二冷却室内设有隔筒，所述载物室可放置在所述隔筒内，所述第二冷却室和所述隔筒之间填充有冷却液，所述第二冷却室的一侧设有出液管。