[实用新型]一种用于石英晶体谐振器真空退火装置

权利要求书

1.一种用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，包括工作台(1)，所述工作台(1)上设有立板(11)、等待室(3)、预热室(4)、退火室(5)、第一冷却室(6)和第二冷却室(7)，所述立板(11)上设有输送机构(2)，所述输送机构(2)用于输送载有石英晶体谐振器的载物室(8)，所述等待室(3)、所述预热室(4)、所述退火室(5)、所述第一冷却室(6)和所述第二冷却室(7)从左到右依次排列在所述工作台(1)上，所述等待室(3)、所述预热室(4)、所述退火室(5)、所述第一冷却室(6)和所述第二冷却室(7)的顶部均设有能够打开的密封门，所述密封门通过安装在所述立板(11)一侧的控制器(12)控制启闭，所述输送机构(2)包括可水平移动的滑块(23)，所述滑块(23)的下面设有可上下移动的上压板(25)，所述上压板(25)的下面设有若干个吸盘(28)，所述上压板(25)的外周上套设有密封圈(26)，所述密封圈(26)和若干个密封门均密封连接，所述载物室(8)包括若干个载物台(81)，若干个载物台(81)的上面共同连接有下压板(83)，所述上压板(25)和所述下压板(83)上下对应。

2.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述密封圈(26)包括密封圈主体(261)，所述密封圈主体(261)套设在所述上压板(25)的外周上，所述密封圈主体(261)的上面连接有固定部(262)，所述固定部(262)的下面设有若干个第一定位圈(2621)，所述密封圈主体(261)的内侧连接有若干个第二定位圈(263)，所述密封圈主体(261)的外侧连接有若干个密封部(264)。

3.根据权利要求2所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述密封部(264)包括从上到下依次连接的第一密封唇(2641)、第二密封唇(2642)和第三密封唇(2643)。

4.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，相邻两个载物台(81)之间通过连板(82)连接，所述载物台(81)内设有若干个可单独放置石英晶体谐振器的间隔，所述上压板(25)的下面设有一对上感应器(27)，所述预热室(4)、所述退火室(5)、所述第一冷却室(6)和所述第二冷却室(7)的上面均设有一对下感应器(84)，所述上感应器(27)和相对应侧的下感应器(84)上下对应。

5.根据权利要求2所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述上压板(25)的上面外端开设有环形的定位口(251)，所述固定部(262)位于所述定位口(251)内，所述定位口(251)的下面开设有若干个第一定位槽(2511)，所述第一定位圈(2621)嵌设在相对应的第一定位槽(2511)内，所述上压板(25)的外侧开设有若干个第二定位槽(252)，所述第二定位圈(263)嵌设在相对应的所述第二定位槽(252)内。

6.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述输送机构(2)还包括电机(21)和丝杆(22)，所述丝杆(22)安装在所述电机(21)的输出端，所述滑块(23)内设有螺母，所述螺母和所述丝杆(22)螺纹连接，通过螺母使得滑块(23)和所述丝杆(22)滑动连接，所述滑块(23)的下面连接有气缸(24)，所述上压板(25)连接在所述气缸(24)的下端。

7.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述预热室(4)的内部设有若干个第一加热管(41)，所述退火室(5)的内部设有若干个第二加热管(51)。

8.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述第一冷却室(6)内设有若干个氮气管(61)，所述氮气管(61)的一端外接氮气源，所述氮气管(61)的另一端下面设有若干个冷却喷口(611)。

9.根据权利要求1所述的用于石英晶体谐振器真空退火装置，其特征在于，所述第二冷却室(7)内设有隔筒(72)，所述载物室(8)可放置在所述隔筒(72)内，所述第二冷却室(7)和所述隔筒(72)之间填充有冷却液(71)，所述第二冷却室(7)的一侧设有出液管(73)。