[实用新型]一种铜蚀刻液的上料系统有效
| 申请号： | 202022897051.2 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN214810604U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 浦陈龙;丁磊;顾维达;顾洪卫;顾维忠;朱永刚 | 申请（专利权）人： | 四川江化微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01F15/04 | 分类号： | B01F15/04;B01F15/00;B01F15/02 |
| 代理公司： | 无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 陈巧云 |
| 地址： | 612700 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种铜蚀刻液的上料系统，包括若干原料储存罐、若干上料罐和混合罐，混合罐的出口通过管路依次连接第一磁力泵、过滤装置和成品罐；所述混合罐的罐体侧边设有称量模块；若干所述上料罐的出口分别通过并联的管路与混合罐的入口连接，若干所述原料储存罐的出口分别通过管路与一一对应的上料罐的入口连接，所述上料罐的下端分别设有电子U形称。本实用新型的上料罐和混合罐之间具有单独进料的管路，减少了共用原料进料管路对下一个原料进料精度的影响；并且在混合罐上还设有用于校对的称量模块，进一步控制了各组分原料的进料精度和总进料量的控制和监控，进一步提高了铜蚀刻液的生产效率和品质。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蚀刻 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于四川江化微电子材料有限公司，未经四川江化微电子材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202022897051.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种激光熔覆用滑块式固定辅助工装
- 下一篇：一种夹持装置
