[实用新型]一种高效硅片碱腐蚀翻新循环装置有效
| 申请号： | 202022890186.6 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN214529325U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 吴王聪;王沛远;朱景兵;施正荣 | 申请（专利权）人： | 浙江海晫新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人： | 何美琴 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市经济技术开*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，包括用于对硅片进行碱腐蚀的碱溶液腐蚀槽，碱溶液腐蚀槽同时作为碱翻新反应槽用于添加翻新剂完成翻新反应，碱溶液腐蚀槽连接沉淀过滤槽，用于将碱溶液腐蚀槽的碱液和沉淀混合物输送至沉淀过滤槽，同时将经固液分离后的碱液反向输送至碱溶液腐蚀槽，实现对硅片碱腐蚀时的碱溶液翻新循环；本实用新型结构简单，翻新循环效率高，可以长时间维持腐蚀碱的浓度，从而大大提高了对硅片的腐蚀质量，降低置换腐蚀液的停机时间，而且可有效节约硅片碱腐蚀的物料和工艺成本以及有力改善了硅片碱腐蚀的工作环境。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 硅片 腐蚀 翻新 循环 装置 | ||
【主权项】：
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