[实用新型]一种高效硅片碱腐蚀翻新循环装置

说明书

本实用新型公开了一种高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，包括用于对硅片进行碱腐蚀的碱溶液腐蚀槽，碱溶液腐蚀槽同时作为碱翻新反应槽用于添加翻新剂完成翻新反应，碱溶液腐蚀槽连接沉淀过滤槽，用于将碱溶液腐蚀槽的碱液和沉淀混合物输送至沉淀过滤槽，同时将经固液分离后的碱液反向输送至碱溶液腐蚀槽，实现对硅片碱腐蚀时的碱溶液翻新循环；本实用新型结构简单，翻新循环效率高，可以长时间维持腐蚀碱的浓度，从而大大提高了对硅片的腐蚀质量，降低置换腐蚀液的停机时间，而且可有效节约硅片碱腐蚀的物料和工艺成本以及有力改善了硅片碱腐蚀的工作环境。

技术领域

本实用新型涉及硅片碱腐蚀工艺领域，具体涉及一种高效硅片碱腐蚀翻新循环装置。

背景技术

公开号为CN111211049A的发明专利公开了一种硅片碱腐蚀工艺及其应用，采用可与水发生反应且生成翻新碱的金属氧化物,且翻新碱可与SiO32-发生反应生成可采用分离方法去除的不溶于水的硅酸盐，用于实现对碱性水溶液的翻新，通过翻新使得碱性水溶液的碱浓度维持不低于其预设最低值的状态或延长其维持不低于碱浓度的预设最低值的时间；且同时通过翻新实现将碱性水溶液的SiO3^2-反应转换为不溶于水的硅酸盐，使得SiO3^2-的浓度减少；该技术通过翻新碱技术明显改善长时间处于强碱性溶液的操作环境、减少废液的产生，进而显著地降低了工艺的物料和环境成本、且明显改善了工艺操作环境；同时可以明显提升本发明硅片碱腐蚀的工艺质量，而且可以有效减少产线的停机时间，提高生产能力和生产效率。

由于以上翻新碱技术通常采用金属氧化物作为翻新原料，因而在进行翻新应用时不可避免地会发生沉淀物，当用于硅片的碱腐蚀槽内的沉淀物累积到一定量时显然会影响腐蚀质量和腐蚀效率，因此，在碱溶液翻新的同时实现对沉淀物的分离去除也是决定硅片碱翻新腐蚀工艺的实施质量和效率的关键技术，而且该技术问题也是CN111211049A所提出对硅片进行碱翻新技术基础上所引起的特定技术问题，在常规的硅片碱腐蚀设备中没有相关参考技术或参考案例。

因此，基于以上，本申请人希望寻求特定的翻新装置来更好地实施硅片的碱翻新腐蚀工艺路线。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，结构简单，翻新循环效率高，可以长时间维持腐蚀碱的浓度，从而大大提高了对硅片的腐蚀质量，降低置换腐蚀液的停机时间，而且可有效节约硅片碱腐蚀的物料和工艺成本以及有力改善了硅片碱腐蚀的工作环境。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，包括用于对硅片进行碱腐蚀的碱溶液腐蚀槽，所述碱溶液腐蚀槽同时作为碱翻新反应槽用于添加翻新剂完成翻新反应，所述碱溶液腐蚀槽连接沉淀过滤槽，用于将碱溶液腐蚀槽的碱液和沉淀混合物输送至沉淀过滤槽，同时将经固液分离后的碱液反向输送至碱溶液腐蚀槽，实现对硅片碱腐蚀时的碱溶液翻新循环。

优选地，所述碱溶液腐蚀槽与所述沉淀过滤槽之间设有输送泵，用于将完成翻新反应的碱溶液与沉淀物的混合液输送至沉淀过滤槽。

优选地，所述沉淀过滤槽与碱溶液腐蚀槽之间设有输送泵，用于将完成固液分离的碱溶液反向输送回碱溶液腐蚀槽；

优选地，还包括1个或多个与所述沉淀过滤槽连接的翻新碱储液槽，用于储存完成固液分离的碱溶液；其中，所述翻新碱储液槽单向连接碱溶液腐蚀槽，用于将碱溶液输送返回至所述碱溶液腐蚀槽。

优选地，所述沉淀过滤槽的底部设有沉淀物排放口，具体优选地，可将沉淀物排放口设置呈漏斗状，或其他有利于沉淀物快速导向排出的其他形状；进一步优选地，所述翻新碱储液槽的底部也设有沉淀物排放口。

优选地，所述沉淀过滤槽采用加压过滤或自由沉降。

优选地，所述碱溶液腐蚀槽内设有加热装置，该加热装置可为碱溶液腐蚀槽进行腐蚀反应和翻新反应提供合适的温度环境。