[实用新型]一种高效硅片碱腐蚀翻新循环装置有效
| 申请号： | 202022890186.6 | 申请日： | 2020-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN214529325U | 公开（公告）日： | 2021-10-29 |
| 发明（设计）人： | 吴王聪;王沛远;朱景兵;施正荣 | 申请（专利权）人： | 浙江海晫新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06 |
| 代理公司： | 南京北辰联和知识产权代理有限公司 32350 | 代理人： | 何美琴 |
| 地址： | 314000 浙江省嘉兴市经济技术开*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高效 硅片 腐蚀 翻新 循环 装置 | ||
1.一种高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，其特征在于，包括用于对硅片进行碱腐蚀的碱溶液腐蚀槽，所述碱溶液腐蚀槽同时作为碱翻新反应槽，所述碱溶液腐蚀槽连接沉淀过滤槽，实现对硅片碱腐蚀时的碱溶液翻新循环。
2.根据权利要求1所述的高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，其特征在于，所述碱溶液腐蚀槽与所述沉淀过滤槽之间设有输送泵。
3.根据权利要求1所述的高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，其特征在于，所述沉淀过滤槽与碱溶液腐蚀槽之间设有输送泵。
4.根据权利要求1所述的高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，其特征在于，还包括1个或多个与所述沉淀过滤槽连接的翻新碱储液槽，其中，所述翻新碱储液槽单向连接碱溶液腐蚀槽。
5.根据权利要求1所述的高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，其特征在于，所述沉淀过滤槽的底部设有沉淀物排放口。
6.根据权利要求1所述的高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，其特征在于，所述沉淀过滤槽采用加压过滤或自由沉降。
7.根据权利要求1所述的高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，其特征在于，所述碱溶液腐蚀槽内设有加热装置。
8.根据权利要求1或7所述的高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，其特征在于，所述碱溶液腐蚀槽温度范围在25-130℃。
9.根据权利要求1所述的高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，其特征在于，翻新剂采用金属氧化物，其原料包括氧化钙粉或氧化镁粉或氧化钡粉。
10.根据权利要求1所述的高效硅片碱腐蚀翻新循环装置，其特征在于，所述碱溶液浓度为0.01mol/L-10mol/L。
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