[实用新型]一种电子化学品颗粒物控制过滤填充系统有效
| 申请号： | 202022868287.3 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN214808888U | 公开（公告）日： | 2021-11-23 |
| 发明（设计）人： | 浦陈龙;顾维忠;顾维达;朱刚;丁磊;朱永刚 | 申请（专利权）人： | 四川江化微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/56 | 分类号： | B01D29/56;B01D61/00 |
| 代理公司： | 无锡义海知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人： | 陈巧云 |
| 地址： | 612700 四川省眉*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种电子化学品颗粒物控制过滤填充系统，包括采用管路依次连接的电子化学品罐、第一调节阀、第一磁力泵、压力计、一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、第二调节阀和电子化学品槽车，所述一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器的滤膜孔径依次降低，所述三级过滤器的出口和所述电子化学品罐的顶部的入口之间设有第一并联管路，所述第一并联管路上设有第三调节阀，所述二级过滤器的出口和所述电子化学品罐的顶部的入口之间设有第二并联管路，所述第二并联管路上设有第四调节阀。该电子化学品颗粒物控制过滤填充系统具有结构简单、使用便捷，减小位于上游的过滤器的过滤压力，减少产物浪费的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电子 化学品 颗粒 控制 过滤 填充 系统 | ||
【主权项】：
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