[实用新型]一种电子化学品颗粒物控制过滤填充系统

说明书

本实用新型公开了一种电子化学品颗粒物控制过滤填充系统，包括采用管路依次连接的电子化学品罐、第一调节阀、第一磁力泵、压力计、一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、第二调节阀和电子化学品槽车，所述一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器的滤膜孔径依次降低，所述三级过滤器的出口和所述电子化学品罐的顶部的入口之间设有第一并联管路，所述第一并联管路上设有第三调节阀，所述二级过滤器的出口和所述电子化学品罐的顶部的入口之间设有第二并联管路，所述第二并联管路上设有第四调节阀。该电子化学品颗粒物控制过滤填充系统具有结构简单、使用便捷，减小位于上游的过滤器的过滤压力，减少产物浪费的优点。

技术领域

本实用新型涉及化工设备具技术领域，具体涉及一种电子化学品颗粒物控制过滤填充系统。

背景技术

电子化学品作为清洗剂、缓冲剂、剥离剂、腐蚀液主要用于电子工业中抛光片、芯片、液晶生产过程中的清洗、蚀刻。经过提纯的电子化学品中含有大量的颗粒杂质。但是，当含有颗粒杂质的电子化学品应用于微电子工业生产中时，会对其质量造成严重的影响，甚至于使产品报废，所以除去这些杂质十分重要。现在对电子化学品的颗粒物的控制，一般采用滤膜孔径逐级变小的若干个串联的过滤器，对电子化学品进行过滤，从而控制电子化学品内的颗粒物的数量。但是采用上述方法进行过滤控制颗粒物，对于位于最上游的过滤器的过滤压力较大，其次，采用串联的若干个过滤器过滤的方法，容易产生较多产品的浪费。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，克服现有技术中存在的缺陷，提供一种结构简单，使用便捷，减小位于上游的过滤器的过滤压力，减少产物浪费的电子化学品颗粒物控制过滤填充系统。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案是设计一种电子化学品颗粒物控制过滤填充系统，包括采用管路依次连接的电子化学品罐、第一调节阀、第一磁力泵、压力计、一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、第二调节阀和电子化学品槽车，所述一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器的滤膜孔径依次降低，所述三级过滤器的出口和所述电子化学品罐的顶部的入口之间设有第一并联管路，所述第一并联管路上设有第三调节阀，所述二级过滤器的出口和所述电子化学品罐的顶部的入口之间设有第二并联管路，所述第二并联管路上设有第四调节阀。本实用新型的过滤填充系统，设置第一并联管路和第二并联管路，将逐级过滤后的化学品再次回转至溶解罐内，与未被过滤处理的化学品进行混合，然后再进行逐级过滤，经过这样的重复“过滤-回转-混合”循环，能够有效降低位于最上游的一级过滤器的过滤压力，同时，经过这样重复的循环，不需要串联连接更多的过滤器，就能够快速达到所需的颗粒物控制标准，减少化学品的浪费，提高化学品的过滤效率。

优选的技术方案为，所述过滤填充系统还包括第三并联管路，所述第三并联管路的两端分别连接第一磁力泵的出口和电子化学品罐顶部的入口，所述第三并联管路上设置第五调节阀。化学品罐外设有第三并联管路，使用时通过第一磁力泵的泵出和泵入，将罐体内原有的未过滤的化学品与过滤后循环回流的化学品进行循环混合，提高罐内物料的流动速度，提高了物料的混合速度，使管体内的物料混合更均匀，进一步降低最上游过滤器的过滤压力。

进一步优选的技术方案为，所述一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器的滤膜的孔径分别为0.2um、0.1um和0.02um。

进一步优选的技术方案为，所述第一并联管路上还设有微粒子计数器，所述微粒子计数器位于第三调节阀和三级过滤器出口之间。微粒子计数器用于检测化学品经过滤器的过滤精度是否合格，当检测到该过滤精度为合格时，关闭第三调节阀和第四调节阀，打开第二调节阀，向槽车内填充化学品；同时，将微粒子计数器设置在第一并联管路上，当检测到化学品的颗粒物数量达到标准后，所有的化学品又再次经过逐级串联的过滤器过滤一次，进一步确保了化学品内颗粒物的准确性。

进一步优选的技术方案为，所述三级过滤器出口与所述第一调节阀之间的管路上还设有流量计。