[实用新型]一种电子化学品颗粒物控制过滤填充系统

权利要求书

1.一种电子化学品颗粒物控制过滤填充系统，其特征在于，包括采用管路依次连接的电子化学品罐、第一调节阀、第一磁力泵、压力计、一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器、第二调节阀和电子化学品槽车，所述一级过滤器、二级过滤器和三级过滤器的滤膜孔径依次降低，所述三级过滤器的出口和所述电子化学品罐的顶部的入口之间设有第一并联管路，所述第一并联管路上设有第三调节阀，所述二级过滤器的出口和所述电子化学品罐的顶部的入口之间设有第二并联管路，所述第二并联管路上设有第四调节阀。

2.根据权利要求1所述的电子化学品颗粒物控制过滤填充系统，其特征在于，所述过滤填充系统还包括第三并联管路，所述第三并联管路的两端分别连接第一磁力泵的出口和电子化学品罐顶部的入口，所述第三并联管路上设置第五调节阀。

3.根据权利要求2所述的电子化学品颗粒物控制过滤填充系统，其特征在于，所述一级过滤器、二级过滤器、三级过滤器的滤膜的孔径分别为0.2um、0.1um和0.02um。

4.根据权利要求3所述的电子化学品颗粒物控制过滤填充系统，其特征在于，所述第一并联管路上还设有微粒子计数器，所述微粒子计数器位于第三调节阀和三级过滤器出口之间。

5.根据权利要求4所述的电子化学品颗粒物控制过滤填充系统，其特征在于，所述三级过滤器的出口与所述电子化学品槽车之间的管路上还设有流量计。

6.根据权利要求5所述的电子化学品颗粒物控制过滤填充系统，其特征在于，所述第二调节阀与所述电子化学品槽车的入口管路上还设有第六调节阀，所述第一调节阀和所述第六调节阀之间还设有两条取样支管，一条取样支管上设有取样阀门，另一条取样支管上设有第七调节阀和样品容纳罐。

7.根据权利要求6所述的电子化学品颗粒物控制过滤填充系统，其特征在于，所述过滤填充系统还包括第二磁力泵，第二磁力泵与第一磁力泵并联。

8.根据权利要求7所述的电子化学品颗粒物控制过滤填充系统，其特征在于，所述过滤填充系统还包括PLC控制系统，所述第一调节阀、所述第二调节阀、所述第三调节阀、所述第四调节阀、所述第五调节阀、所述第六调节阀、所述微粒子计数器、所述流量计均与PLC控制系统电连接。