[实用新型]半导体生产设备的喷淋部件的洗净浸泡治具有效
| 申请号： | 202022862827.7 | 申请日： | 2020-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN214263143U | 公开（公告）日： | 2021-09-24 |
| 发明（设计）人： | 王云鹏;贺贤汉;周毅;王成明 | 申请（专利权）人： | 上海富乐德智能科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B08B13/00 | 分类号： | B08B13/00;B08B3/04 |
| 代理公司： | 上海申浩律师事务所 31280 | 代理人： | 赵建敏 |
| 地址： | 200444 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及机械技术领域。半导体生产设备的喷淋部件的洗净浸泡治具，包括一支撑架，支撑架包括一支撑面板，支撑面板的上表面用于支撑待浸泡工件，支撑面板呈圆环形；支撑架还包括至少三个周向排布的支撑脚，支撑脚固定在支撑面板的外边缘，支撑脚的顶部设有向上延伸的突起，突起高于支撑面板的上表面；支撑脚的底部开设有用于嵌入突起的插槽。本专利通过优化洗净浸泡治具，便于实现铝部件的浸泡，相对于传统的平铺浸泡大大增加了单次的洗净工件数。加快了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 生产 设备 喷淋 部件 洗净 浸泡 | ||
【主权项】：
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