[实用新型]一种薄膜太阳能电池生产用蚀刻装置有效
| 申请号： | 202022831657.6 | 申请日： | 2021-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN213519863U | 公开（公告）日： | 2021-06-22 |
| 发明（设计）人： | 刘锋;朱凯;李旭倩 | 申请（专利权）人： | 南京正春电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/306 | 分类号： | H01L21/306;H01L21/67;H01L31/18;B01D35/02;B01D29/11;B01D29/31 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 沈振涛 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市迈皋*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种薄膜太阳能电池生产用蚀刻装置，包括装置主体，所述装置主体的上端设置有蚀刻槽，所述蚀刻槽的一侧外表面设置有过滤管，所述过滤管的内部设置过滤网，所述过滤管的外表面设置有螺纹连接管，所述蚀刻槽的一侧外表面设置有螺纹孔，所述过滤管的一端设置有导流管，所述导流管的外表面设置有旋转螺纹，所述蚀刻槽的上端外表面设置有防护盖，所述防护盖的外表面设置有连接块，所述连接块的外表面设置有橡胶层，所述蚀刻槽与防护盖之间设置有合页。本实用新型所述的一种薄膜太阳能电池生产用蚀刻装置，对废液进行过滤，避免废液中的杂物造成管道结垢、堵塞，对蚀刻槽进行防护，防止蚀刻时蚀刻液溅出。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜 太阳能电池 生产 蚀刻 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
