[实用新型]一种薄膜太阳能电池生产用蚀刻装置

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池生产用蚀刻装置，包括装置主体(1)，其特征在于：所述装置主体(1)的上端设置有蚀刻槽(2)，所述蚀刻槽(2)的一侧外表面设置有过滤管(3)，所述过滤管(3)的内部设置过滤网(4)，所述过滤管(3)的外表面设置有螺纹连接管(5)，所述蚀刻槽(2)的一侧外表面设置有螺纹孔(6)，所述过滤管(3)的一端设置有导流管(7)，所述导流管(7)的外表面设置有旋转螺纹(8)，所述蚀刻槽(2)的上端外表面设置有防护盖(9)，所述防护盖(9)的外表面设置有连接块(10)，所述连接块(10)的外表面设置有橡胶层(11)，所述蚀刻槽(2)与防护盖(9)之间设置有合页(12)，所述导流管(7)的一端设置有转接管(13)，所述蚀刻槽(2)的内部设置有喷淋管(14)。

2.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于：所述装置主体(1)的前端外表面设置有进料口(15)，所述装置主体(1)的一侧设置有蚀刻液槽(16)，所述蚀刻液槽(16)的内部设置有固定板(17)，所述固定板(17)的外表面设置有输液管(18)，所述蚀刻槽(2)的一侧外表面设置有涡轮结构(19)，所述装置主体(1)的下端设置有支撑腿(20)，所述装置主体(1)的一侧设置有废液槽(21)。

3.根据权利要求2所述的一种薄膜太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于：所述导流管(7)与转接管(13)之间为活动连接，所述蚀刻槽(2)与喷淋管(14)、涡轮结构(19)之间均为活动连接，所述涡轮结构(19)与输液管(18)之间为活动连接，所述固定板(17)与蚀刻液槽(16)之间为固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于：所述螺纹连接管(5)与螺纹孔(6)相匹配，所述螺纹连接管(5)与过滤管(3)之间为固定连接，所述过滤管(3)与过滤网(4)之间为固定连接，所述导流管(7)与过滤管(3)相匹配，所述过滤管(3)、螺纹连接管(5)、导流管(7)均为合金材质制成，所述过滤管(3)的外表面设置有橡胶垫。

5.根据权利要求1所述的一种薄膜太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于：所述连接块(10)与蚀刻槽(2)相匹配，所述连接块(10)与橡胶层(11)之间为活动连接，所述连接块(10)与防护盖(9)之间为固定连接，所述防护盖(9)、连接块(10)均为玻璃材质制成，所述合页(12)与蚀刻槽(2)、防护盖(9)之间均为活动连接，所述防护盖(9)与蚀刻槽(2)之间为活动连接。

6.根据权利要求2所述的一种薄膜太阳能电池生产用蚀刻装置，其特征在于：所述支撑腿(20)的数量为若干组，所述支撑腿(20)位于装置主体(1)的下端外面呈阵列排布，所述装置主体(1)与支撑腿(20)之间为固定连接，所述支撑腿(20)为合金材质制成。