[实用新型]气密性检测装置有效
| 申请号： | 202022812292.2 | 申请日： | 2020-11-27 |
| 公开（公告）号： | CN214121522U | 公开（公告）日： | 2021-09-03 |
| 发明（设计）人： | 梁国泰;黄宇彬;童培云;朱刘;何坤鹏 | 申请（专利权）人： | 先导薄膜材料（广东）有限公司 |
| 主分类号： | G01M3/20 | 分类号： | G01M3/20 |
| 代理公司： | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人： | 张向琨 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本公开提供了一种气密性检测装置，其用于对靶材组件进行气密性检测，所述气密性检测装置包括：支撑板，所述靶材组件密封设置于所述支撑板的上方，并与所述支撑板形成腔体，所述支撑板设有与所述腔体连通的通孔；气体提供装置，用于向所述靶材组件背离所述腔体的一侧释放检测气体；气体检测装置，所述气体检测装置的一端连通所述通孔，以对所述腔体内的气体进行检测。本公开的气密性检测装置能够将腔体内的气体抽出并进行检测，从而对靶材组件的气密性进行有效地检测，保证了用于溅射的靶材组件在溅射过程中具有良好的气密性。 | ||
| 搜索关键词： | 气密性 检测 装置 | ||
【主权项】：
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