[实用新型]气密性检测装置有效
申请号: | 202022812292.2 | 申请日: | 2020-11-27 |
公开(公告)号: | CN214121522U | 公开(公告)日: | 2021-09-03 |
发明(设计)人: | 梁国泰;黄宇彬;童培云;朱刘;何坤鹏 | 申请(专利权)人: | 先导薄膜材料(广东)有限公司 |
主分类号: | G01M3/20 | 分类号: | G01M3/20 |
代理公司: | 北京五洲洋和知识产权代理事务所(普通合伙) 11387 | 代理人: | 张向琨 |
地址: | 511517 广东省清*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 气密性 检测 装置 | ||
1.一种气密性检测装置,用于对靶材组件(7)进行气密性检测,其特征在于,所述气密性检测装置包括:
支撑板(1),所述靶材组件(7)密封设置于所述支撑板(1)的上方,并与所述支撑板(1)形成腔体(S1),所述支撑板(1)设有与所述腔体(S1)连通的通孔(11);
气体提供装置(2),用于向所述靶材组件(7)背离所述腔体(S1)的一侧释放检测气体;
气体检测装置(3),所述气体检测装置(3)的一端连通所述通孔(11),以对所述腔体(S1)内的气体进行检测。
2.根据权利要求1所述的气密性检测装置,其特征在于,
所述气密性检测装置还包括密封垫(4),
所述支撑板(1)还设有由所述支撑板(1)的上表面向下凹入的固定槽(12),所述固定槽(12)与所述通孔(11)连通,所述密封垫(4)固定于所述固定槽(12)中且上端突出于所述固定槽(12),
所述靶材组件(7)与所述密封垫(4)的上表面密封接触。
3.根据权利要求2所述的气密性检测装置,其特征在于,
气体检测装置(3)包括真空泵(31)和检测仪(32),所述真空泵(31)连接于所述通孔(11)与所述检测仪(32)之间。
4.根据权利要求3所述的气密性检测装置,其特征在于,
气体检测装置(3)还包括连接接头(33)和气管(34),所述连接接头(33)具有第一接口(331)和与所述第一接口(331)连通的第二接口(332),所述第一接口(331)固定于所述通孔(11)中并与所述固定槽(12)连通;
所述气管(34)连接所述第二接口(332)与所述真空泵(31)以及所述真空泵(31)与检测仪(32)。
5.根据权利要求4所述的气密性检测装置,其特征在于,
所述连接接头(33)还具有与所述第一接口(331)连通的第三接口(333);
气体检测装置(3)还包括泄压阀(35),所述泄压阀(35)连接于所述第三接口(333)。
6.根据权利要求1所述的气密性检测装置,其特征在于,所述气密性检测装置还包括罩体(5),所述罩体(5)设置于所述支撑板(1)的上表面并与所述支撑板(1)的上表面围成收容空间(S2),所述罩体(5)设有将气体提供装置(2)与收容空间(S2)连通的开口(51)。
7.根据权利要求1所述的气密性检测装置,其特征在于,所述气密性检测台还包括地脚(6),所述地脚(6)从下方支撑所述支撑板(1)。
8.根据权利要求1所述的气密性检测装置,其特征在于,气体检测装置(3)为氦质谱仪。
9.根据权利要求1所述的气密性检测装置,其特征在于,所述支撑板(1)为法兰盖。
10.根据权利要求9所述的气密性检测装置,其特征在于,所述法兰盖的公称压力为1.0MPa。
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