[实用新型]一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具有效
| 申请号： | 202022777445.4 | 申请日： | 2020-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN213730557U | 公开（公告）日： | 2021-07-20 |
| 发明（设计）人： | 王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 | 申请（专利权）人： | 河南东微电子材料有限公司 |
| 主分类号： | B23Q3/06 | 分类号： | B23Q3/06 |
| 代理公司： | 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 | 代理人： | 关璐琪 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具，包括数控机床和两块滑板，两块所述滑板均与数控机床的上下内壁滑动连接，两块所述滑板的两端分别固定连接有完全相同的滑块，所述数控机床的上下内壁上开设有与多个滑块分别匹配的滑槽，两块所述滑板靠近彼此的一侧均转动连接有一块转板，每块所述转板与对应的滑板的连接处固定连接有转块，所述滑板上也开设有与转块相匹配的环形转槽，其中一块所述滑板的另一侧设置有马达，所述马达的输出端固定连接有转杆，所述转杆贯穿滑板与转板固定连接。本实用新型结构简单，操作方便，夹具不会遮住靶材的上下表面，使靶材能完全镀膜，夹具能自动旋转，使靶材的双面镀膜更加方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 fecob 合金 表面 cnc 加工 夹具 | ||
【主权项】：
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