[实用新型]一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具有效

专利信息
申请号: 202022777445.4 申请日: 2020-11-26
公开(公告)号: CN213730557U 公开(公告)日: 2021-07-20
发明(设计)人: 王永超;赵泽良;居炎鹏;陈耘田;郭利乐;仝红岩;王留土;郑海强;史豪杰;刘占军 申请(专利权)人: 河南东微电子材料有限公司
主分类号: B23Q3/06 分类号: B23Q3/06
代理公司: 郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149 代理人: 关璐琪
地址: 450000 河南省郑州市航空港区新港大*** 国省代码: 河南;41
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摘要:
搜索关键词: 一种 高纯 fecob 合金 表面 cnc 加工 夹具
【权利要求书】:

1.一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具,包括数控机床(1)和两块滑板(2),两块所述滑板(2)均与数控机床(1)的上下内壁滑动连接,两块所述滑板(2)的两端分别固定连接有完全相同的滑块(17),所述数控机床(1)的上下内壁上开设有与多个滑块(17)分别匹配的滑槽(3),其特征在于,两块所述滑板(2)靠近彼此的一侧均转动连接有一块转板(4),每块所述转板(4)与对应的滑板(2)的连接处固定连接有转块(5),所述滑板(2)上也开设有与转块(5)相匹配的环形转槽(6),其中一块所述滑板(2)的另一侧设置有马达(7),所述马达(7)的输出端固定连接有转杆(8),所述转杆(8)贯穿滑板(2)与转板(4)固定连接,所述马达(7)的输入端与数控机床(1)相连接,两块所述转板(4)靠近彼此的一侧均固定连接有连接块(9),两个所述连接块(9)上均开设有凹槽,所述凹槽内转动连接有转轴(10),所述转轴(10)的两端固定连接有转动块(11),所述凹槽的上下壁也开设有与转动块(11)对应匹配的转动槽(12),每个所述转轴(10)上转动套设有两个套筒(13),每个所述转轴(10)上还套设有与套筒(13)分别对应的扭力弹簧,所述扭力弹簧的一端固定连接在转轴(10)上,且扭力弹簧的另一端固定连接在对应的套筒(13)的内壁,每个所述套筒(13)的一侧固定连接有夹杆(14),所述夹杆(14)均呈“L”形,且两个夹杆(14)关于对应转轴(10)的中点对称分布。

2.根据权利要求1所述的一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具,其特征在于,所述滑块(17)的一端固定连接有两块对称分布的固定板(18),所述固定板(18)通过固定轴转动连接有滚轮(19),所述滚轮(19)上套设有橡胶套。

3.根据权利要求1所述的一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具,其特征在于,所述转板(4)采用弹性和强度较高的材料制作。

4.根据权利要求1所述的一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具,其特征在于,每个所述夹杆(14)的末端开设有夹槽,每个所述夹槽内均固定连接有固定杆(16),每个所述固定杆(16)上均转动套设有一个转轮(15)。

5.根据权利要求4所述的一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具,其特征在于,每个所述转轮(15)的表面刻有较深的防滑槽。

6.根据权利要求4所述的一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具,其特征在于,多个所述转轮(15)均位于相同的高度。

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