[实用新型]一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具

说明书

本实用新型公开了一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具，包括数控机床和两块滑板，两块所述滑板均与数控机床的上下内壁滑动连接，两块所述滑板的两端分别固定连接有完全相同的滑块，所述数控机床的上下内壁上开设有与多个滑块分别匹配的滑槽，两块所述滑板靠近彼此的一侧均转动连接有一块转板，每块所述转板与对应的滑板的连接处固定连接有转块，所述滑板上也开设有与转块相匹配的环形转槽，其中一块所述滑板的另一侧设置有马达，所述马达的输出端固定连接有转杆，所述转杆贯穿滑板与转板固定连接。本实用新型结构简单，操作方便，夹具不会遮住靶材的上下表面，使靶材能完全镀膜，夹具能自动旋转，使靶材的双面镀膜更加方便。

技术领域

本实用新型涉及合金加工领域，尤其涉及一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具。

背景技术

CNC是一种装有程序控制系统的自动化机床，又称数控机床。靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在靶材上形成各种功能薄膜。

现有的加工夹具在夹持合金靶材时，是夹持在靶材的上下表面，会使靶材在镀膜时，靶材的表面有一部分被夹具遮挡住，而无法完全镀膜，同时，现有的夹具难以翻面，使靶材在加工时，很难完成正反两面的镀膜。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，如：夹具挡住靶材的表面，使靶材无法完全镀膜，难以完成正反两面的镀膜加工，而提出的一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具，包括数控机床和两块滑板，两块所述滑板均与数控机床的上下内壁滑动连接，两块所述滑板的两端分别固定连接有完全相同的滑块，所述数控机床的上下内壁上开设有与多个滑块分别匹配的滑槽，两块所述滑板靠近彼此的一侧均转动连接有一块转板，每块所述转板与对应的滑板的连接处固定连接有转块，所述滑板上也开设有与转块相匹配的环形转槽，其中一块所述滑板的另一侧设置有马达，所述马达的输出端固定连接有转杆，所述转杆贯穿滑板与转板固定连接，所述马达的输入端与数控机床相连接，两块所述转板靠近彼此的一侧均固定连接有连接块，两个所述连接块上均开设有凹槽，所述凹槽内转动连接有转轴，所述转轴的两端固定连接有转动块，所述凹槽的上下壁也开设有与转动块对应匹配的转动槽，每个所述转轴上转动套设有两个套筒，每个所述转轴上还套设有与套筒分别对应的扭力弹簧，所述扭力弹簧的一端固定连接在转轴上，且扭力弹簧的另一端固定连接在对应的套筒的内壁，每个所述套筒的一侧固定连接有夹杆，所述夹杆均呈“L”形，且两个夹杆关于对应转轴的中点对称分布。

优选地，所述滑块的一端固定连接有两块对称分布的固定板，所述固定板通过固定轴转动连接有滚轮，所述滚轮上套设有橡胶套。

优选地，所述转板采用弹性和强度较高的材料制作。

优选地，每个所述夹杆的末端开设有夹槽，每个所述夹槽内均固定连接有固定杆，每个所述固定杆上均转动套设有一个转轮。

优选地，每个所述转轮的表面刻有较深的防滑槽。

优选地，多个所述转轮均位于相同的高度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：夹具夹持在合金靶材的侧面，不会遮挡住靶材的上下表面，使靶材能完全镀膜，不会有一部分未被镀膜的情况发生，夹具能自动旋转，使靶材的正面在完成镀膜后会旋转到翻面，使靶材的双面镀膜更加方便。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具的夹具的俯视图；

图3为本实用新型提出的一种高纯FeCoB合金靶材表面CNC加工夹具的夹具的侧视图；