[实用新型]真空溅射沉积装置

摘要

本实用新型公开一种真空溅射沉积装置，包括室体，室体上设置有支撑托架，支撑托架上设置有绝缘衬套，绝缘衬套的一侧设置有背板，背板远离绝缘衬套的一侧设置有靶材，绝缘衬套内嵌设有加强板，加强板上开设有第一螺纹孔，绝缘衬套上开设有与第一螺纹孔连通的第一避让孔，背板上开设有第一固定孔，背板与加强板通过第一螺钉连接，第一螺钉依次穿过第一固定孔和第一避让孔旋拧至第一螺纹孔内。通过在绝缘衬套内嵌入一个加强板，加强板的强度大于绝缘衬套的强度，而在加强板上开设第一螺纹孔，使得第一螺钉避开绝缘衬套直接与加强板连接，在背板需要拆装时，旋拧第一螺钉的作用力施加在加强板上，有效地防止绝缘衬套破损。