[实用新型]真空溅射沉积装置

权利要求书

1.一种真空溅射沉积装置，包括室体，所述室体上设置有支撑托架，所述支撑托架上设置有绝缘衬套，所述绝缘衬套的一侧设置有背板，所述背板远离所述绝缘衬套的一侧设置有靶材，其特征在于，所述绝缘衬套内嵌设有加强板，所述加强板上开设有第一螺纹孔，所述绝缘衬套上开设有与所述第一螺纹孔连通的第一避让孔，所述背板上开设有第一固定孔，所述背板与所述加强板通过第一螺钉连接，所述第一螺钉依次穿过所述第一固定孔和所述第一避让孔旋拧至所述第一螺纹孔内。

2.根据权利要求1所述的真空溅射沉积装置，其特征在于，所述绝缘衬套通过第二螺钉与所述支撑托架连接，所述支撑托架上开设第二螺纹孔，所述加强板上开设第二固定孔，所述绝缘衬套上开设有与所述第二固定孔连通的第二避让孔，所述第二螺钉依次穿过所述第二避让孔和所述第二固定孔旋拧至所述第二螺纹孔内。

3.根据权利要求2所述的真空溅射沉积装置，其特征在于，所述加强板包括板本体，所述板本体的两侧固定有第一连接部，所述第一螺纹孔开设在所述板本体上，所述第二固定孔开设在所述第一连接部上。

4.根据权利要求3所述的真空溅射沉积装置，其特征在于，所述第一连接部的厚度小于所述板本体的厚度。

5.根据权利要求1所述的真空溅射沉积装置，其特征在于，所述加强板为金属板。

6.根据权利要求5所述的真空溅射沉积装置，其特征在于，所述加强板为不锈钢板。

7.根据权利要求1至6任一项所述的真空溅射沉积装置，其特征在于，所述第一固定孔包括相连通的第一通孔和第二通孔，所述第一通孔位于所述第二通孔远离所述绝缘衬套的一端，所述第一通孔的尺寸大于所述第二通孔的尺寸；

所述第一螺钉包括第一螺杆和固定在所述第一螺杆一端的第一螺帽，所述第一螺帽的尺寸大于所述第二通孔的尺寸，所述第一螺帽位于所述第一通孔内，所述第一螺帽的边缘与所述第一通孔的孔壁之间形成第一间隙，所述第一间隙的宽度不小于5mm。

8.根据权利要求1至6任一项所述的真空溅射沉积装置，其特征在于，所述第一螺钉包括第一螺杆和第一螺帽，所述第一螺杆包括主体部和第二连接部，所述主体部的一端与所述第二连接部连接，另一端与所述第一螺帽连接，所述第二连接部的外周设置有与所述第一螺纹孔配合的外螺纹，所述第二连接部的直径小于所述主体部的直径，所述主体部位于所述第一固定孔内，所述第二连接部的部分位于所述第一避让孔内，所述第二连接部的外周壁与所述第一避让孔的孔壁之间形成第二间隙。

9.根据权利要求2所述的真空溅射沉积装置，其特征在于，所述第二螺钉包括第二螺杆和固定在所述第二螺杆一端的第二螺帽，所述第二螺帽的尺寸大于所述第二固定孔的尺寸，所述第二螺帽的尺寸小于所述第二避让孔的尺寸，所述第二螺帽位于所述第二避让孔内。

10.根据权利要求1至6任一项所述的真空溅射沉积装置，其特征在于，所述支撑托架上凹设有容纳槽，所述容纳槽的槽口朝向所述背板，所述绝缘衬套安装在所述容纳槽内，所述绝缘衬套不凸出于所述容纳槽的槽口。